恭喜无锡智远芯半导体设备技术有限公司张其峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡智远芯半导体设备技术有限公司申请的专利一种刻蚀机用刻蚀电极获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222734937U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420321570.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种刻蚀机用刻蚀电极是由张其峰设计研发完成，并于2024-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀机用刻蚀电极在说明书摘要公布了：本实用新型涉及刻蚀机技术领域，公开了一种刻蚀机用刻蚀电极，包括：下电极平面壳体，所述下电极平面壳体一端顶部设有上进水壳，所述下电极平面壳体一端底部设有下出水壳，所述下电极平面壳体顶部设有冷却台，所述下电极平面壳体顶部设有底板，所述底板顶部设有顶板，所述底板和顶部内部位于冷却台外侧开设有通孔，所述底板和顶板之间开设有负压吸槽，本实用新型由于冷却台与下电极平面壳体的贯通设计，使得冷却液能够进入到冷却台内部，对放置板直接进行冷却，通过放置板进行晶片与冷却液的热交换，由于晶片与放置板直接接触，且接触面积较大，提高了冷却效率。
本实用新型一种刻蚀机用刻蚀电极在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀机用刻蚀电极，包括：下电极平面壳体1，其特征在于：所述下电极平面壳体1一端顶部设有上进水壳2，所述下电极平面壳体1一端底部设有下出水壳3，所述下电极平面壳体1顶部设有冷却台13，所述下电极平面壳体1顶部设有底板6，所述底板6顶部设有顶板7，所述底板6和顶板7内部位于冷却台13外侧开设有通孔，所述底板6和顶板7之间开设有负压吸槽11，所述顶板7上开设有放置孔8。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡智远芯半导体设备技术有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市高浪东路999号A1栋8楼812室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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