恭喜北京北方华创微电子装备有限公司张珊珊获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利加热装置和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222734938U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420358558.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型加热装置和半导体工艺设备是由张珊珊;刘红丽设计研发完成，并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种加热装置和半导体工艺设备，所公开的加热装置包括第一保温部、第二保温部和加热组件；所述第一保温部为筒状结构件，所述第二保温部与所述第一保温部的端部连接，以围成一端开口的加热内腔，所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件设于所述第一保温部，所述第二加热件设于所述第二保温部。上述方案可以解决相关技术中的反应腔室在顶壁的位置处散热过快，从而使得反应腔室的温度分布一致性较差，进而影响半导体片材工艺后的性能的问题。
本实用新型加热装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体工艺设备的加热装置，其特征在于，包括第一保温部100、第二保温部200和加热组件300；所述第一保温部100为筒状结构件，所述第二保温部200与所述第一保温部100的端部连接，以围成一端开口的加热内腔，所述加热组件300包括第一加热件310和第二加热件320，所述第一加热件310设于所述第一保温部100，所述第二加热件320设于所述第二保温部200。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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