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恭喜北京北方华创微电子装备有限公司赵起悦获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利复合坩埚以及晶体生长设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222729954U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420365331.4,技术领域涉及:C30B23/00;该实用新型复合坩埚以及晶体生长设备是由赵起悦设计研发完成,并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

复合坩埚以及晶体生长设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种复合坩埚以及晶体生长设备,其中,复合坩埚包括石墨坩埚主体和钽箔层;石墨坩埚主体包括底壁和侧壁,侧壁的下缘与底壁的边缘密封连接,以与底壁共同围成一个用于进行晶体生长工艺的生长腔体;钽箔层,包括至少一层钽箔片;至少一层钽箔片覆盖在底壁的上表面上和侧壁的内周面上,用以将底壁和侧壁与生长腔体隔绝,以能够减少制备出的晶体中碳杂质含量;而由于钽箔片较薄,因此可以实现在保证石墨坩埚主体的内表面完全被覆盖的情况下,所用钽材料较少,从而能够降低复合坩埚的制造成本。

本实用新型复合坩埚以及晶体生长设备在权利要求书中公布了:1.一种复合坩埚,应用于晶体生长工艺;其特征在于,包括:石墨坩埚主体,包括底壁和侧壁,所述侧壁的下缘与所述底壁的边缘密封连接,以与所述底壁共同围成一个用于进行所述晶体生长工艺的生长腔体;钽箔层,包括至少一层钽箔片;至少一层所述钽箔片覆盖在所述底壁的上表面上和所述侧壁的内周面上,用以将所述底壁和所述侧壁与所述生长腔体隔绝。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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