恭喜江西兆驰半导体有限公司欧阳高剑获国家专利权
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龙图腾网恭喜江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种SiC载片盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222729896U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420368855.9，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型一种SiC载片盘是由欧阳高剑;田晓强;崔思远;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种SiC载片盘在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种SiC载片盘，包括载片盘本体，载片盘本体的上表面凹陷形成多个载片槽，载片槽靠近载片盘本体中心的一面具有平边，在载片槽具有平边的一面设有多个用于抵靠晶圆片的支撑柱，载片槽内设有用于承载晶圆片的载片台，载片台上固定连接有第一转动组件，SiC载片盘还包括位于载片盘本体边缘的第二转动组件，第一转动组件和第二转动组件通过传动机构连接，旋转第二转动组件，以使传动机构带动第一转动组件连同载片台有限旋转，本实用新型可以使晶圆片与载片槽之间留有缝隙，防止晶圆片受热膨胀导致裂片；通过传动机构带动第一转动组件旋转，使载片台倾斜，改变载片台的外边缘的高度，以应对沉积反映映射原理。
本实用新型一种SiC载片盘在权利要求书中公布了：1.一种SiC载片盘，其特征在于，包括载片盘本体，所述载片盘本体的上表面凹陷形成多个载片槽，所述载片槽靠近所述载片盘本体中心的一面具有平边，在所述载片槽具有平边的一面设有多个用于抵靠晶圆片的支撑柱，所述载片槽内设有用于承载所述晶圆片的载片台，所述载片台上固定连接有第一转动组件，所述SiC载片盘还包括位于所述载片盘本体边缘的第二转动组件，所述第一转动组件和所述第二转动组件通过传动机构连接，旋转所述第二转动组件，以使所述传动机构带动所述第一转动组件连同所述载片台有限旋转。
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