恭喜费勉仪器科技(南京)有限公司顾杰获国家专利权
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龙图腾网恭喜费勉仪器科技(南京)有限公司申请的专利真空坩埚调节机构、真空炉源及真空处理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222729955U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420496064.4,技术领域涉及:C30B23/02;该实用新型真空坩埚调节机构、真空炉源及真空处理系统是由顾杰;谢斌平;张朱锋;郭维设计研发完成,并于2024-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空坩埚调节机构、真空炉源及真空处理系统在说明书摘要公布了:本公开涉及真空设备技术领域,公开了一种真空坩埚调节机构,包括法兰、平衡块、至少两个调节螺栓和坩埚支撑结构。法兰用于与真空腔体密封连接,法兰包括至少两个调节孔。平衡块设置在法兰的远端面侧。至少两个调节螺栓分别延伸穿过法兰的调节孔并且与平衡块连接,以调节平衡块的高度。坩埚支撑结构与平衡块连接,用于支撑坩埚。
本实用新型真空坩埚调节机构、真空炉源及真空处理系统在权利要求书中公布了:1.一种真空坩埚调节机构,其特征在于,包括:法兰,用于与真空腔体密封连接,所述法兰包括至少两个调节孔;平衡块,设置在所述法兰的远端面侧;至少两个调节螺栓,分别延伸穿过所述法兰的所述调节孔并且与所述平衡块连接,以调节所述平衡块的高度;以及坩埚支撑结构,与所述平衡块连接,用于支撑坩埚。
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