恭喜北京北方华创微电子装备有限公司凌祉堃获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利升降装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222734959U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420525883.7，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型升降装置及半导体工艺设备是由凌祉堃;司宝;王伟设计研发完成，并于2024-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本升降装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种升降装置及半导体工艺设备，升降装置包括传动件、伸缩缸及传动轴，伸缩缸的伸缩杆沿竖直方向延伸，伸缩杆的传动端通过浮动接头与传动件连接；伸缩杆沿竖直方向平移时能够带动传动件上升或下降，且伸缩杆的传动端可相对于传动件沿预设水平方向移动；传动轴沿竖直方向延伸，传动轴与传动件固定连接，传动轴用于设置于工艺腔室且相对于工艺腔室沿竖直方向往复平移，传动轴用于与升降对象连接；预设水平方向为伸缩杆的中轴线水平指向传动轴的中轴线的方向。采用本实用新型的升降装置，因伸缩杆和传动轴不同轴设置，传动轴的中轴线可更靠近升降对象，减小了传动尺寸，有利于改善升降对象的运动平稳性。
本实用新型升降装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种升降装置，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括工艺腔室和设置在所述工艺腔室内的升降对象，其特征在于，所述升降装置包括：传动件；伸缩缸，所述伸缩缸的伸缩杆沿竖直方向延伸，所述伸缩杆的传动端通过浮动接头与所述传动件连接；所述伸缩杆沿竖直方向平移时能够带动所述传动件上升或下降，且所述伸缩杆的传动端可相对于所述传动件沿预设水平方向移动；以及传动轴，沿竖直方向延伸，所述传动轴与所述传动件固定连接，所述传动轴用于设置于所述工艺腔室且相对于所述工艺腔室沿竖直方向往复平移，所述传动轴用于与所述升降对象连接；其中，所述预设水平方向为所述伸缩杆的中轴线水平指向所述传动轴的中轴线的方向。
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