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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利反射装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222734940U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420586832.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型反射装置及半导体工艺设备是由郝云鹏;王顺;岳耀宇;徐文涛;周子光设计研发完成，并于2024-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本反射装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种反射装置及半导体工艺设备，其中，所述反射装置包括筒体、盖体和法兰；筒体的内壁设有反射面，筒体的外壁沿筒体的高度方向间隔设置有第一凸环和第二凸环，第二凸环位于第一凸环上方，盖体套设于第一凸环和第二凸环外，盖体、第一凸环、第二凸环和筒体围成冷却流道；法兰套设于筒体外，法兰包括相连接的第一环形部和第二环形部，第一环形部沿筒体的高度方向延伸，第二环形部沿筒体的径向延伸，第一环形部的朝向第二凸环的端部承载于第二凸环；第一环形部与第二凸环的接缝，以及第二凸环与盖体的接缝，均由第一环形焊料封堵。

本实用新型反射装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种反射装置100，其特征在于，包括：筒体110、盖体120和法兰130；所述筒体110的内壁设有反射面111，所述筒体110的外壁沿所述筒体110的高度方向间隔设置有第一凸环112和第二凸环113，所述第二凸环113位于所述第一凸环112上方，所述盖体120套设于所述第一凸环112和所述第二凸环113外，所述盖体120、所述第一凸环112、所述第二凸环113和所述筒体110围成冷却流道140；所述法兰130套设于所述筒体110外，所述法兰130包括相连接的第一环形部131和第二环形部132，所述第一环形部131沿所述筒体110的高度方向延伸，所述第二环形部132沿所述筒体110的径向延伸，所述第一环形部131的朝向所述第二凸环113的端部承载于所述第二凸环113；所述第一环形部131与所述第二凸环113的接缝，以及所述第二凸环113与所述盖体120的接缝，均由第一环形焊料151封堵。

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