恭喜浙江亚笙半导体设备有限公司巫显龙获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江亚笙半导体设备有限公司申请的专利一种半导体设备气密性检测工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222733773U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420619792.X,技术领域涉及:G01M3/26;该实用新型一种半导体设备气密性检测工装是由巫显龙;祁传清;田雪芹;陈晶设计研发完成,并于2024-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备气密性检测工装在说明书摘要公布了:一种半导体设备气密性检测工装,用以检测半导体设备的气密性,包含:压力传感器;调压阀,与所述压力传感器有连接关系;连接管,分别与所述压力传感器和所述调压阀有连接关系;手阀,与所述调压阀有连接关系。本实用新型能够解决目前组装工艺中通过保压测试查找泄漏点困难以及反复拆装带来的大量的工作量的问题,并且能够精准的检测半导体设备的气密性,具有极大的实用价值。
本实用新型一种半导体设备气密性检测工装在权利要求书中公布了:1.一种半导体设备气密性检测工装,用以检测半导体设备的气密性,其特征在于,包含:压力传感器;调压阀,与所述压力传感器连接;连接管,分别与所述压力传感器和所述调压阀连接;手阀,一端与所述调压阀连接;其中,所述连接管与所述半导体设备的任意一个出口连接;所述手阀另一端与气体充入装置连接。
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