恭喜信越化学工业株式会社渡部武纪获国家专利权
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龙图腾网恭喜信越化学工业株式会社申请的专利成膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112601839B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980055286.4，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权成膜方法是由渡部武纪;桥上洋设计研发完成，并于2019-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜方法在说明书摘要公布了：本发明为一种成膜方法，其是在成膜部对雾进行热处理而进行成膜的成膜方法，其包括：在雾化部将原料溶液雾化而产生雾的工序；经由连接所述雾化部和所述成膜部的输送部，通过载气将所述雾从所述雾化部输送至所述成膜部的工序；以及，在所述成膜部对所述雾进行热处理，从而在基体上进行成膜的工序，当将所述载气的流量设为QL分、将所述载气的温度设为T℃时，以7＜T+Q＜67的方式对所述载气的流量和所述载气的温度进行控制。由此可以提供一种成膜速度优异的成膜方法。
本发明授权成膜方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜方法，其是在成膜部对雾进行热处理而进行成膜的成膜方法，其特征在于，包括：在雾化部将原料溶液雾化而产生雾的工序；经由连接所述雾化部和所述成膜部的输送部，通过载气将所述雾从所述雾化部输送至所述成膜部的工序；以及在所述成膜部对所述雾进行热处理，从而在基体上进行成膜的工序，所述成膜方法中，当将所述载气的流量设为QL分、将所述载气的温度设为T℃时，以7＜T+Q＜67的方式对所述载气的流量和所述载气的温度进行控制，使用水作为原料溶液的溶剂，将所述成膜部的压力设为大气压，将所述载气的流量Q设为0.01～60L分。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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