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龙图腾网恭喜示巴微系统公司申请的专利用于微型相机的自动对焦、光学防抖和超分辨率成像的五个自由度MEMS致动器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111655607B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980004458.5，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权用于微型相机的自动对焦、光学防抖和超分辨率成像的五个自由度MEMS致动器是由费斯·巴-提斯;艾哈迈德·盖洛姆;阿里·班斯;里哈德·本-马德设计研发完成，并于2019-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于微型相机的自动对焦、光学防抖和超分辨率成像的五个自由度MEMS致动器在说明书摘要公布了：公开了提供5个自由度5‑DOF运动的MEMS静电致动器。所述致动器由彼此嵌套的内部、中间和外部MEMS结构组成。每个结构由多个转子和定子组成。所述转子还包括多个移动电容电极，所述移动电容电极与定子中的多个固定电容电极接合，以提供各种平移和旋转运动。

本发明授权用于微型相机的自动对焦、光学防抖和超分辨率成像的五个自由度MEMS致动器在权利要求书中公布了：1.一种五自由度（5-DOF）MEMS静电微致动器，包括：a）内部MEMS结构，其包括内部定子和内部转子，所述内部转子限定具有x轴和y轴的x-y平面，并且z轴垂直于所述x-y平面，其中，所述内部转子由用于保持负载的负载台以及多个移动内部电容电极组成，所述多个移动内部电容电极通过多个内部机械弹簧附接到所述内部定子，所述内部定子由多个固定内部电容电极组成，其中，所述内部MEMS结构中的所述多个移动内部电容电极和固定内部电容电极在存在电压电势的情况下接合，从而导致保持所述负载的所述内部转子沿所述x轴或所述y轴平移；b）中间MEMS结构，其包括中间定子和中间转子，其中，所述内部MEMS结构刚性地附接到所述中间MEMS结构的所述中间转子，所述中间转子由多个移动中间电容电极组成，所述多个移动中间电容电极通过多个中间机械弹簧附接到所述中间定子，所述中间定子由多个固定中间电容电极组成，其中，所述中间MEMS结构中的所述多个移动中间电容电极和固定中间电容电极在存在电压电势的情况下接合，从而导致保持所述内部MEMS结构的所述中间转子沿所述y轴或所述x轴平移，以及c）外部MEMS结构，其包括外部定子和外部转子，其中，所述中间MEMS结构刚性地附接到所述外部转子，所述外部转子由多个移动外部电容电极组成，所述多个移动外部电容电极通过多个外部机械弹簧附接到所述外部定子，所述外部定子由多个固定外部电容电极组成，其中，所述外部MEMS结构中的所述多个移动外部电容电极和固定外部电容电极在存在电压电势的情况下接合，从而导致保持所述内部MEMS结构和所述中间MEMS结构的所述外部转子沿轴线z平移和或所述外部转子围绕所述x轴或y轴双轴倾斜，d）所述多个移动内部电容电极和所述多个移动中间电容电极是具有多个壁的通孔或管的阵列，其中多个移动梳状驱动齿从每个所述通孔或管的壁沿所述x-y平面延伸，并且e）所述多个固定内部电容电极和所述多个固定中间电容电极是活塞的阵列，其中多个固定梳状驱动齿从每个活塞的侧面沿着所述x-y平面延伸并与所述内部转子和中间转子的所述多个移动梳状驱动齿相互交叉。

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