恭喜关东化学株式会社高桥秀树获国家专利权
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龙图腾网恭喜关东化学株式会社申请的专利过氧化氢分解抑制剂获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113939899B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080043042.7,技术领域涉及:H01L21/306;该发明授权过氧化氢分解抑制剂是由高桥秀树;荻原艾琳娜;廖本男;吴柏衡;李懿设计研发完成,并于2020-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本过氧化氢分解抑制剂在说明书摘要公布了:本发明以提供抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂为课题。本发明涉及一种用于抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂,其中,包含选自唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物的至少1种化合物作为有效成分。
本发明授权过氧化氢分解抑制剂在权利要求书中公布了:1.一种使用分解抑制剂抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的方法,包括:向含过氧化氢的氮化钛用蚀刻液组合物添加分解抑制剂;所述分解抑制剂包含作为有效成分的唑类化合物;并且,所述分解抑制剂以相对于蚀刻液组合物中的100ppm氮化钛,所述唑类化合物的含量为2mmolL至10mmolL的比例添加至所述氮化钛用蚀刻液组合物。
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