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龙图腾网恭喜匠博先进材料科技(广州)有限公司申请的专利蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112501551B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011300069.8，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置是由蓝秋亮设计研发完成，并于2020-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：第一面侧、第二面侧及贯通孔，其特征在于，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述第一面侧的方向凸起；所述第二支撑部包括多个边部和多个尖部，所述尖部位于相邻的两边部之间，所述边部向内凹陷，所述尖部指向所述凸起部并与所述凸起部相连，以提高蒸镀掩模与蒸镀基板配合的密着性，减轻张网时的褶皱，同时减轻蒸镀时的阴影，提高蒸镀精度。

本发明授权蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：第一面侧，其构成所述蒸镀掩模面对所述蒸镀基板的一侧；第二面侧，其构成所述蒸镀掩模与所述第一面侧相反的一侧；及贯通孔，其贯穿所述第一面侧与所述第二面侧，其特征在于，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部围绕所述贯通孔，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二凹部与所述第一凹部相贯通形成贯通孔，所述第二支撑部为平面，且所述第二支撑部至所述第一面侧的厚度T，满足关系式：10um≤T≤40um；所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，所述第二开口与所述第二支撑部相连，且所述第二刻蚀面连接所述第二开口与所述贯通孔，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述第一面侧的方向凸起；所述第二支撑部包括多个边部和多个尖部，所述尖部位于相邻的两边部之间，所述边部向内凹陷，所述尖部指向所述凸起部并与所述凸起部相连；所述蒸镀掩模的制造方法包括：步骤S10：提供一金属卷材；其中，金属卷材刻蚀前对所述金属卷材的上表面及下表面用酸碱进行喷洒，金属卷材通过收卷机释放缓慢经过清洗装置，清洗后再收卷；步骤S20：分别在所述金属卷材的上表面及下表面真空贴合干膜光阻；其中，所述干膜光阻包括第一干膜光阻和第二干膜光阻，所述第一干膜光阻贴合于所述金属卷材的上表面，所述第二干膜光阻贴合于所述金属卷材的下表面；所述干膜光阻通过热压贴合于所述金属卷材的上表面及下表面；热压贴合前，所述金属卷材收卷于收卷机内，所述金属卷材经收卷机释放缓缓通过预加热装置，预加热装置对所述金属卷材的上表面和下表面预加热，预加热后的金属卷材缓缓通过热压滚轮与干膜光阻相贴合；热压贴合前，干膜光阻收卷于另一收卷机内，干膜光阻还至少覆盖有用于承载及保护干膜光阻的基材层，干膜光阻从收卷机缓缓释放并剥离基材层，剥离基材层的干膜光阻通过热压滚轮与金属卷材相贴合，贴合有干膜光阻的金属卷材收卷于收卷机；所述干膜光阻热压贴合于所述金属卷材的过程在真空环境内进行；步骤S30：通过曝光显影将所述干膜光阻图案化；其中，所述干膜光阻用于曝光显影形成图案化的干膜光阻，并以图案化的干膜光阻作为掩模将设计的图案转移至金属卷材上，以用于刻蚀形成所需的第一面侧、第二面侧及贯通孔的大小及形状；所述曝光设备至少包括若干收卷机、若干搬送滚轮及曝光机，贴合有干膜光阻的所述金属卷材收卷于收卷机内；金属卷材从收卷机释放，并通过若干搬送滚轮传动，从而自上而下通过曝光机；所述曝光机至少包括曝光灯、曝光机框架、真空密封件、第一曝光掩模及第二曝光掩模，所述曝光机框架成对设置，所述第一曝光掩模和第二曝光掩模分别设置于曝光机框架内，且所述第一曝光掩模和第二曝光掩模分别位于金属卷材的两侧；具体地，所述第一曝光掩模位于所述金属卷材贴合有第一干膜光阻的一侧，所述第二曝光掩模位于所述金属卷材贴合有第二干膜光阻的一侧，第一曝光掩模与第二曝光掩模正对且间隔设置；曝光之前，所述第一曝光掩模与所述第二曝光掩模先进行位置对准；所述第一曝光掩模与所述第二曝光掩模通过2um以下的对准精度进行位置对准；曝光之时，将金属板的搬送张力开放，通过所述真空密封件使得第一曝光掩模与第二曝光掩模之间形成真空环境，令所述金属卷材在真空环境下曝光，此时，对于蒸镀掩模而言，所述第一曝光掩模正对所述蒸镀掩模的第一面侧，所述第二曝光掩模正对所述蒸镀掩模的第二面侧，且所述第一曝光掩模与所述第二曝光掩模的周围环境温度t控制在：-2℃≤t≤2℃；步骤S40：通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述上表面形成第一面侧；步骤S50：在所述第一面侧真空贴合树脂以填埋所述第一凹部；步骤S60：通过图案化的所述干膜光阻刻蚀所述下表面形成第二面侧；步骤S70：剥离所述树脂及所述干膜光阻；步骤S80：完成剥离后裁剪所述金属卷材形成若干金属片材；步骤S90：剪裁所述金属片材形成若干条状的蒸镀掩模；根据设计的蒸镀掩模，将所述金属片材裁剪为条状的蒸镀掩模；获得条状的蒸镀掩模后，根据实际需要进行相应的检查工序，检查工序包括：自动外观检查工序，通过与检查对象通孔的外周的贯通孔比较，对分离剪裁出的蒸镀掩模内的所有贯通孔进行自动检查；通过图像处理将外周贯通孔的平均值与对象贯通孔进行比较；比较检查是通过比较通孔的面积，以及最短尺寸，最长尺寸来进行；确认检查工序，调出异常的贯通孔，实施不良判定；尺寸检查工序，放置合格的蒸镀掩模，采用蒸镀掩模测定机测定手段测定蒸镀掩模的尺寸参数；目视外观工序，放置合格的蒸镀掩模，采用蒸镀掩模目视检查台检查蒸镀掩模的异物变形情况。

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