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龙图腾网恭喜安徽亦高光电科技有限责任公司申请的专利一种金属件表面真空镀膜设备及真空镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119351962B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411910744.7，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种金属件表面真空镀膜设备及真空镀膜方法是由李俊华;尤俊衡;郭靖;艾其波;余全贵设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金属件表面真空镀膜设备及真空镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种金属件表面真空镀膜设备及真空镀膜方法，涉及真空镀覆技术领域，包括外仓以及通过转动轴转动安装在外仓上的仓盖，还包括靶材以及基材；所述外仓内部固定安装有内仓，所述内仓分为两半，其中一半位于外仓内，另一半位于仓盖内，所述内仓底部固定安装有注气盘，所述注气盘上开设有多个注气孔，所述外仓外部固定安装有真空泵，所述真空泵与内仓之间通过气管相连通。优点在于：本发明在进行基材镀膜时，不仅可有效地降低靶材受热不均导致覆膜质量差的概率，还可对靶材上溅射出来的离子进行集中发射，对基材进行局部覆膜，覆膜均匀性更高，且离子附着强度更大，后期覆膜脱落概率低，覆膜质量更高。

本发明授权一种金属件表面真空镀膜设备及真空镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种金属件表面真空镀膜设备，包括外仓（1）以及通过转动轴（5）转动安装在外仓（1）上的仓盖（2），其特征在于，还包括靶材（30）以及基材（6）；所述外仓（1）内部固定安装有内仓（10），所述内仓（10）分为两半，其中一半位于外仓（1）内，另一半位于仓盖（2）内，所述内仓（10）底部固定安装有注气盘（11），所述注气盘（11）上开设有多个注气孔，所述外仓（1）外部固定安装有真空泵（3），所述真空泵（3）与内仓（10）之间通过气管相连通；所述内仓（10）内安装有固定组件（7），所述基材（6）安装在固定组件（7）上，用于对基材（6）进行锁定，并带动基材（6）转动进行角度调节，确保基材（6）每个竖直面都能进行镀膜；所述内仓（10）内安装有离子导向组件（8），所述靶材（30）位于离子导向组件（8）内部，所述离子导向组件（8）用于对靶材（30）溅射出来的离子进行定向疏导，并且还可带动靶材（30）转动，确保靶材（30）离子溅射均匀；所述离子导向组件（8）包括固定安装在内仓（10）内壁上的加热仓（26），所述靶材（30）转动安装在加热仓（26）上，所述靶材（30）一半位于加热仓（26）内部，另一半位于加热仓（26）外部，所述加热仓（26）顶部固定安装有第二电机（28），所述第二电机（28）驱动端与靶材（30）之间固定连接；所述加热仓（26）外部固定安装有离子导向仓（27），所述离子导向仓（27）为椭圆形，所述靶材（30）位于椭圆其中一个圆心上，所述离子导向仓（27）内安装有离子收集机构，所述离子收集机构位于椭圆的另一个圆心上，所述离子导向仓（27）远离加热仓（26）的一端开设有离子发射口；所述离子发射口的两侧均固定安装有一个导向片（29），所述离子导向仓（27）上安装有与两个导向片（29）相配合的摆动机构；所述摆动机构包括固定安装在离子导向仓（27）顶部的第三电机（32），所述第三电机（32）驱动端上固定安装有摆架（33），两个所述导向片（29）上均转动安装有一个连动杆（34），所述摆架（33）上开设有两个与对应连动杆（34）相配合的限位槽（35）；所述离子收集机构包括转动安装在离子导向仓（27）内部的离子集中筒（31），所述离子集中筒（31）为八边形形状，所述离子集中筒（31）内部固定安装有电极板（39），所述离子导向仓（27）上安装有与离子集中筒（31）相配合的带动结构；所述带动结构包括固定安装在离子导向仓（27）顶部的第四电机（36），所述第四电机（36）驱动端上固定安装有不完全齿轮（37），所述离子集中筒（31）顶部中心点位置处固定安装有支柱，所述支柱贯穿并伸出离子集中筒（31），所述支柱上固定安装有与不完全齿轮（37）相配合的齿盘（38）。

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