恭喜长春长光圆辰微电子技术有限公司张耀庚获国家专利权
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龙图腾网恭喜长春长光圆辰微电子技术有限公司申请的专利一种用于图像传感器制作的晶圆键合力测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119542168B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510081025.7,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权一种用于图像传感器制作的晶圆键合力测试方法是由张耀庚;王宣欢;常芮嘉;王涛设计研发完成,并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于图像传感器制作的晶圆键合力测试方法在说明书摘要公布了:本发明涉及晶圆测试领域,提供了一种用于图像传感器制作的晶圆键合力测试方法,包括利用键合力测试设备对晶圆本体进行测试,晶圆本体包括上晶圆和下晶圆,上晶圆通过键合界面和下晶圆连接,键合力测试设备包括底板、定位组件、吸液组件以及刀具组件,定位组件包括加工台以及固定板,吸液组件包括楔形座、弹力件三、导向板以及两个活动清洁组件,刀具组件包括安装座、气缸以及活塞杆。本发明能够自动对晶圆本体进行按压固定和解除按压固定,能够自动使刀体插入键合界面,从而使键合界面产生键合裂缝,提高测试效率。
本发明授权一种用于图像传感器制作的晶圆键合力测试方法在权利要求书中公布了:1.一种用于图像传感器制作的晶圆键合力测试方法,其特征是,包括利用键合力测试设备对晶圆本体进行测试;晶圆本体包括上晶圆(22)和下晶圆(23),上晶圆(22)通过键合界面(24)和下晶圆(23)连接;键合力测试设备包括底板(1)、定位组件、吸液组件以及刀具组件;定位组件包括加工台(2)以及固定板(3),加工台(2)固接于底板(1)顶壁,固定板(3)固接于加工台(2)顶壁,固定板(3)上固接有电机(4),电机(4)输出轴上固接有转轴(5),转轴(5)上固接有伞齿轮一(6)和直齿轮一(7),固定板(3)上滑动连接有齿条(8)和压板(9),齿条(8)和压板(9)固接,齿条(8)和直齿轮一(7)啮合,固定板(3)上转动连接有转杆(11),转杆(11)上固接有伞齿轮二(10),伞齿轮二(10)和伞齿轮一(6)啮合,转杆(11)底壁开设有条槽(12),条槽(12)顶壁镶嵌有电磁铁(13),条槽(12)内壁滑动连接有插条(16),插条(16)上端固接有永磁铁一(15),永磁铁一(15)通过弹力件一(14)和条槽(12)顶壁连接;吸液组件包括楔形座(42)、弹力件三(43)、导向板(44)以及两个活动清洁组件,楔形座(42)滑动连接于导向板(44)上,导向板(44)固接于底板(1)顶壁,楔形座(42)底壁通过弹力件三(43)和底板(1)顶壁连接,活动清洁组件包括辊体(17)、支撑块(19)、连接齿板(20)、滑座(25)、弹力件二(26)、连接块(27)以及直齿轮二(29),辊体(17)转动连接于支撑块(19)顶壁,擦拭带(18)两端分别缠绕于两个辊体(17)上,其中一个辊体(17)顶壁开设有插槽(21),支撑块(19)固接于连接齿板(20)上,连接齿板(20)滑动连接于滑座(25)上,滑座(25)滑动连接于楔形座(42)顶壁,连接块(27)固接于楔形座(42)顶壁,连接块(27)通过弹力件二(26)和滑座(25)连接,两个以上永磁铁二(28)镶嵌于连接齿板(20)上,直齿轮二(29)转动连接于楔形座(42)顶壁,两个直齿轮二(29)分别和两个连接齿板(20)啮合;刀具组件包括安装座(31)、气缸(34)以及活塞杆(35),安装座(31)固接于活塞杆(35)上,活塞杆(35)连接于气缸(34)上,气缸(34)固接于底板(1)顶壁,安装座(31)上镶嵌有两个永磁铁四(40),安装座(31)上固接有楔形块一(41)和两个传动齿板(30),安装座(31)侧壁固接有刀体(36)。
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