恭喜信越化学工业株式会社桥上洋获国家专利权
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龙图腾网恭喜信越化学工业株式会社申请的专利层叠体、成膜方法及成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113243043B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980082989.6，技术领域涉及：H01L21/365；该发明授权层叠体、成膜方法及成膜装置是由桥上洋;渡部武纪设计研发完成，并于2019-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本层叠体、成膜方法及成膜装置在说明书摘要公布了：本发明为一种层叠体，其包含晶体基板与半导体膜，所述半导体膜设置在该晶体基板的主表面上，且含有掺杂剂并包含具有刚玉结构的氧化物半导体作为主要成分，所述氧化物半导体中所包含的Si浓度为5.0×1020cm‑3以下，所述半导体膜的电阻率为150mΩ·cm以下。由此，可提供一种层叠体，该层叠体包含适于半导体器件用途的低电阻的具有刚玉结构的半导体。
本发明授权层叠体、成膜方法及成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种成膜方法，其包括：形成至少包含雾化后的金属氧化物前驱体、载气和掺杂剂的混合气的步骤；将所述混合气经由输送部输送至成膜部的步骤；及在所述成膜部使所述混合气进行热反应，在基板上形成半导体膜的步骤，所述成膜方法的特征在于，至少使所述输送部中的与所述混合气接触的面为非有机硅类树脂，所述非有机硅类树脂包含聚乙烯、聚丙烯、氯乙烯、聚苯乙烯、聚乙酸乙烯酯、氨基甲酸酯树脂、丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂、丙烯酸树脂、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、尼龙、缩醛树脂、聚碳酸酯、聚苯醚、聚酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚烯烃、聚苯硫醚、聚砜、聚醚砜、聚芳酯、聚醚醚酮中的任一种以上。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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