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龙图腾网恭喜TOTO株式会社申请的专利静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111508885B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911345382.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电吸盘是由池口雅文;糸山哲朗;西愿修一郎;白石纯设计研发完成，并于2019-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本静电吸盘在说明书摘要公布了：本发明提供一种静电吸盘，具体而言，具备：基座板；及陶瓷电介质基板，具有第1主面，其特征在于，所述第1主面至少包含第1区域、与所述第1区域邻接的第2区域，在所述第1区域中设置有多个第1槽、与所述多个第1槽的至少1个连接的至少1个第1气体导入孔、在与所述多个第1槽交叉的方向上延伸的至少1个第2槽，所述多个第1槽的各自的平面形状呈大致圆形，且被同心设置，所述第2槽与至少2个所述第1槽连接，在投影到垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介质基板的第1方向的平面时，在连接所述第1槽和所述第2槽的部分上，所述第1气体导入孔的至少一部分与所述第1槽及所述第2槽的至少任一重叠。

本发明授权静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，具备：基座板；及陶瓷电介质基板，被设置在所述基座板之上，平面形状呈大致圆形，具有露出于外部的第1主面，其特征在于，所述第1主面包含能够载放对象物的多个圆点，且至少包含第1区域和与所述第1区域邻接且相对于所述第1主面的中心被设置在所述第1区域的外侧的第2区域，在所述第1区域中，设置有多个第1槽、与所述多个第1槽的至少1个连接的至少1个第1气体导入孔、在与所述多个第1槽交叉的方向上延伸的至少1个第2槽，所述多个第1槽的各自的平面形状呈大致圆形，且被同心设置，所述多个第1槽包括最接近于所述第1区域和所述第2区域之间的第1边界而设置且沿着所述第1边界延伸的第1边界槽，在所述第2区域设置有：多个第3槽；以及至少1个第2气体导入孔，与所述多个第3槽的至少1个连接，所述多个第3槽包括最接近于所述第1边界而设置且沿着所述第1边界延伸的第2边界槽，在将所述对象物载放在所述多个圆点上的状态下，在所述第1主面与所述对象物之间形成空间，以使得向所述第1边界槽和所述第2边界槽中的一方供给的气体被供给到另一方，所述第2槽与至少2个所述第1槽连接，在投影到垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介质基板的第1方向的平面时，在连接所述第1边界槽和所述第2槽的部分上，所述第1气体导入孔的至少一部分与所述第1边界槽及所述第2槽重叠。

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