恭喜信越半导体株式会社小林拓生获国家专利权
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龙图腾网恭喜信越半导体株式会社申请的专利单晶制造装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113574213B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980094084.0，技术领域涉及：C30B29/06；该发明授权单晶制造装置是由小林拓生;柳濑和也;冈井笃志;园川将;岩崎淳设计研发完成，并于2019-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶制造装置在说明书摘要公布了：本发明是一种单晶制造装置，其基于切克劳斯基法，具备：主腔室2，其容纳收纳原料融液5的坩埚6、7及对原料融液5进行加热的加热器8；提拉腔室3，其连接设置于主腔室2的上部，收纳从原料融液5提拉的单晶4；冷却筒12，其以包围单晶4的方式从主腔室2的顶部朝向原料融液5的表面延伸；以及冷却辅助筒19，其嵌合于冷却筒12的内侧，还具备嵌合于冷却辅助筒19的直径扩大部件20，冷却辅助筒19具有沿轴向贯穿的裂缝，且通过按入直径扩大部件20从而直径扩大而与冷却筒12紧密贴合。由此，能够高效地冷却生长中的单晶，并实现该单晶的生长速度的高速化。
本发明授权单晶制造装置在权利要求书中公布了：1.一种单晶制造装置，其基于切克劳斯基法，其具备：主腔室，其容纳收纳原料融液的坩埚及对所述原料融液进行加热的加热器；提拉腔室，其连接设置于该主腔室的上部，并收纳从所述原料融液提拉的单晶；冷却筒，其以包围所述单晶的方式从所述主腔室的顶部朝向所述原料融液的表面延伸；以及冷却辅助筒，其嵌合于所述冷却筒的内侧，其特征在于，还具备嵌合于所述冷却辅助筒的直径扩大部件，所述冷却辅助筒具有沿轴向贯穿的裂缝，且通过按入所述直径扩大部件从而直径扩大而与所述冷却筒紧密贴合，所述冷却辅助筒具有内径向下方变小的锥形状，所述直径扩大部件具有外径向下方变小的锥形状，且通过嵌合于所述冷却辅助筒的内侧而被按入，从而能够扩大所述冷却辅助筒的直径。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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