恭喜信义玻璃(天津)有限公司董清世获国家专利权
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龙图腾网恭喜信义玻璃(天津)有限公司申请的专利玻璃镀膜设备及其平面阴极获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111663108B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010543545.2,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权玻璃镀膜设备及其平面阴极是由董清世;陈大伟设计研发完成,并于2020-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本玻璃镀膜设备及其平面阴极在说明书摘要公布了:本申请属于玻璃镀膜技术领域,尤其涉及一种玻璃镀膜设备及其平面阴极,该平面阴极包括阴极背板和至少两个平面靶材,阴极背板具有安装面,各平面靶材均安装于安装面上,各平面靶材间隔设置,相邻的两个平面靶材之间均形成有间隙槽,相邻的两个平面靶材彼此相对的端面设置有第一凸起和第二凸起,在沿垂直于安装面的方向上,第一凸起和第二凸起上下设置,第一凸起的凸伸高度与第二凸起的凸伸高度之和大于等于间隙槽的槽宽。该平面阴极相邻两个平面靶材拼接时不会出现由上而下垂直贯穿的缝隙,这样溅射气体不会通过垂直缝隙对阴极背板的侵蚀,也解决了阴极靶材背板受长时间溅射而被侵蚀损坏的问题,有效的提升了平面阴极的寿命,提高了镀膜产品质量。
本发明授权玻璃镀膜设备及其平面阴极在权利要求书中公布了:1.一种平面阴极,其特征在于:包括阴极背板和至少两个平面靶材,所述阴极背板具有安装面,各所述平面靶材均安装于所述安装面上,各所述平面靶材沿所述阴极背板的长度方向间隔设置,相邻的两个所述平面靶材之间均形成有间隙槽,相邻的两个所述平面靶材彼此相对的端面设置有第一凸起和第二凸起,在沿垂直于所述安装面的方向上,所述第一凸起和所述第二凸起上下设置,所述第一凸起的凸伸高度与所述第二凸起的凸伸高度之和大于等于所述间隙槽的槽宽;各所述平面靶材上均设置有压条,各所述平面靶材的边部均设有缺口,所述压条包括固定部和与所述固定部连接的压紧部,所述固定部固定安装于所述阴极背板上,且所述压紧部压紧于各所述缺口;相邻的两个所述压条的彼此相对的端面分别为第三倾斜面和第四倾斜面,所述第三倾斜面和所述第四倾斜面相贴合,相邻两个所述压条之间不存在间隙。
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