恭喜金辰双子太阳能光伏科技(营口)有限公司杨宝海获国家专利权
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龙图腾网恭喜金辰双子太阳能光伏科技(营口)有限公司申请的专利传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111893460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010940850.5,技术领域涉及:C23C16/458;该发明授权传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统是由杨宝海;德克·哈伯曼;杨娜;潘家永;许伟伟;宋玉超;乌韦·哈伯曼;李轶军;李翔;李敦信;李义升设计研发完成,并于2020-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统在说明书摘要公布了:传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统属于半导体材料制造领域,具体涉及但不限于太阳能电池生产中等离子体增强化学气相沉积的真空镀膜系统及该真空镀膜系统中的传输机构。本发明提供一种系统高度相对较低,运行稳定的传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统。本发明的传输机构包括基座,其特征在于:基座上通过第一联动装置设置有两上层转轴,第一联动装置使两上层转轴转动方向相反;两上层转轴下端均与一中层主动转杆的一端相连,两中层主动转杆的另一端均与一下层从动杆的一端铰接,两下层从动杆的另一端下侧均通过下层转轴与一底层基板相连,两下层转轴之间通过第二联动装置相连,第二联动装置使两下层转轴转动方向相反。
本发明授权传输机构及使用该传输机构的真空镀膜系统在权利要求书中公布了:1.传输机构,包括基座(300),其特征在于:基座(300)上通过第一联动装置(301)设置有两上层转轴(302),第一联动装置(301)使两上层转轴(302)转动方向相反;两上层转轴(302)下端均与一中层主动转杆(303)的一端相连,两中层主动转杆(303)的另一端均与一下层从动杆(305)的一端铰接,两下层从动杆(305)的另一端下侧均通过下层转轴(307)与一底层基板(306)相连,两下层转轴(307)之间通过第二联动装置(308)相连,第二联动装置(308)使两下层转轴(307)转动方向相反;所述第一联动装置(301)和第二联动装置(308)均为相互啮合的齿轮组;所述底层基板(306)上设置有安装槽,所述第二联动装置(308)设置于凹槽(310)内。
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