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龙图腾网恭喜觉芯电子(无锡)有限公司申请的专利一种薄膜体声波谐振器及应用其的滤波器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114189225B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010965276.9，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权一种薄膜体声波谐振器及应用其的滤波器是由马宏设计研发完成，并于2020-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种薄膜体声波谐振器及应用其的滤波器在说明书摘要公布了：本申请提供一种薄膜体声波谐振器及应用其的滤波器，该薄膜体声波谐振器包括基底和器件结构，器件结构设于基底上；基底上与器件结构连接的一面设有反射镜；器件结构包括第一电极层、压电薄膜层和第二电极层，第一电极层、压电薄膜层和第二电极层依次层叠连接；第二电极层上设有第一声阻抗调谐结构，第一声阻抗调谐结构包括第一内部谐振区域和第一外部谐振区域，第一外部谐振区域和第一内部谐振区域的声阻抗不同；第一内部谐振区域设于第二电极层上与反射镜相对应的区域内。通过调整第一外部谐振区域和第一内部谐振区域的占空比及周期，能够形成多层横向声波的反射界面，限制声波能量从谐振器边缘处泄漏，提高谐振器的品质因数Q值。

本发明授权一种薄膜体声波谐振器及应用其的滤波器在权利要求书中公布了：1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括基底1和器件结构，所述器件结构设于所述基底1上；所述基底1上与所述器件结构连接的一面设有反射镜2；所述反射镜2为空腔结构或布拉格反射器；所述器件结构包括第一电极层3、压电薄膜层4和第二电极层5，所述第一电极层3、所述压电薄膜层4和所述第二电极层5依次层叠连接；所述器件结构还包括支撑层7，所述支撑层7包括相对应的第一面和第二面，所述支撑层7的第一面与所述基底1层叠连接，所述支撑层7的第二面与所述第一电极层3层叠连接；所述第二电极层5上设有第一声阻抗调谐结构6，所述第一声阻抗调谐结构6包括第一外部谐振区域61和第一内部谐振区域62，所述第一外部谐振区域61和所述第一内部谐振区域62的声阻抗不同；所述第一内部谐振区域62设于所述第二电极层5上与所述反射镜2相对应的区域内；所述器件结构还包括第二声阻抗调谐结构8；所述第二声阻抗调谐结构8设于所述支撑层7的第一面、所述第一电极层3上与所述支撑层7连接的一面或所述压电薄膜层4上与所述第一电极层3连接的一面；所述第二声阻抗调谐结构8包括第二内部谐振区域和第二外部谐振区域；所述第二内部谐振区域和所述第二外部谐振区域的声阻抗不同；所述第二内部谐振区域位于所述支撑层7的第一面、所述第一电极层3上与所述支撑层7连接的一面或所述压电薄膜层4上与所述第一电极层3连接的一面上与所述反射镜2对应的区域内。

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