恭喜富士胶片株式会社片山晃男获国家专利权
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龙图腾网恭喜富士胶片株式会社申请的专利感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115335771B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080098703.6,技术领域涉及:G03F7/027;该发明授权感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法是由片山晃男;有富隆志设计研发完成,并于2020-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法,所述感光性转印材料在临时支承体上具有含有碱溶性树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性树脂层,在使感光性树脂层贴合于被转印基材并以单位为mJcm2的曝光量Ep即=2×Eb对感光性树脂层进行曝光之后,在剥离了临时支承体的状态下,将50℃的单乙醇胺10质量%水溶液滴加10μL到固化层的表面时的、从单乙醇胺10质量%水溶液的滴落开始到经过10秒的时间点的固化层中的被转印基材法线方向的溶胀比为103%以下,其中,Eb为显示用15级阶梯光楔进行曝光、显影之后的残留膜具有感光性树脂层的厚度的±1%的残存厚度的级数的曝光量。
本发明授权感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种感光性转印材料,其在临时支承体上具有含有碱溶性树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性树脂层,所述聚合性化合物含有在一个分子中具有2个烯属不饱和基团的2官能的烯属不饱和化合物以及在一个分子中具有3个烯属不饱和基团的3官能的烯属不饱和化合物,并且相对于所述聚合性化合物的总量,所述3官能的烯属不饱和化合物的含有比率为30质量%~1977004477质量%,所述碱溶性树脂以总构成单元的合计质量为基准而包含30质量%~45质量%的来自于苯乙烯的构成单元,所述感光性树脂层的厚度为5μm~15μm,在使所述感光性树脂层贴合于被转印基材并以曝光量Ep对所述感光性树脂层进行曝光之后,在剥离了临时支承体的状态下,将50℃的单乙醇胺10质量%水溶液滴加10μL到固化层的表面时的、从单乙醇胺10质量%水溶液的滴落开始到经过10秒的时间点的所述固化层中的被转印基材法线方向的溶胀比为103%以下,Ep=2×Eb,Ep表示以mJcm2为单位的曝光量,Eb表示如下:以mJcm2为单位,使感光性树脂层贴合于被转印基材之后,隔着具有15级阶梯光楔的掩模通过高压汞灯以照度20mWcm2进行曝光,显示剥离临时支承体而显影之后的残留膜相对于所述感光性树脂层的厚度具有±1%的残存厚度的级数的曝光量。
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