恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司杨宪获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种物镜保护装置及其工作方法、光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690568B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011567057.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种物镜保护装置及其工作方法、光刻机是由杨宪;戴思雨;刘伟设计研发完成，并于2020-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种物镜保护装置及其工作方法、光刻机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种物镜保护装置及其工作方法、光刻机。所述物镜保护装置内中间连接板与待保护物镜的镜头镜面相对设置，中间连接板包括出气口，出气口贯穿中间连接板露出镜头镜面的取光区；第一环形气腔包括第一进气孔和第一出气滤网，第一进气孔设置于第一环形气腔远离中间连接板一侧的侧壁上，第一出气滤网与待保护物镜的镜头侧壁相对且等间距设置；第二环形气腔包括第二进气孔和第二出气滤网，第二进气孔设置于第二环形气腔远离中间连接板一侧的侧壁上，第二出气滤网与待保护物镜的镜筒靠近物镜保护装置一侧的表面相对且等间距设置。本发明实施例提供的技术方案，避免了物镜受污染。
本发明授权一种物镜保护装置及其工作方法、光刻机在权利要求书中公布了：1.一种物镜保护装置，其特征在于，包括保护装置本体，所述保护装置本体包括中间连接板以及依次围绕所述中间连接板设置的第一环形气腔、第二环形气腔；其中，所述中间连接板与待保护物镜的镜头镜面相对设置，所述中间连接板包括出气口，所述出气口贯穿所述中间连接板露出所述镜头镜面的取光区；所述第一环形气腔包括第一进气孔和第一出气滤网，所述第一进气孔设置于所述第一环形气腔远离所述中间连接板一侧的侧壁上，所述第一出气滤网与所述待保护物镜的镜头侧壁相对且等间距设置；所述第二环形气腔包括第二进气孔和第二出气滤网，所述第二进气孔设置于所述第二环形气腔远离所述中间连接板一侧的侧壁上，所述第二出气滤网与所述待保护物镜的镜筒靠近所述物镜保护装置一侧的表面相对且等间距设置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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