买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112877665B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110282766.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法是由姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;邵科科设计研发完成，并于2021-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法，所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述靶材的端面具有第一分段式花纹结构；所述靶材的端面与侧面的连接处R角具有第二分段式花纹结构；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构分别独立地为至少2段式花纹结构。所述滚花方法包括以下步骤：1对靶材的端面进行第一分段式滚花；2对靶材的端面与侧面的连接处R角进行第二分段式滚花；3对靶材的滚花区域进行抛光处理。其中，步骤1与2不分先后顺序。本发明有效地防止了靶材在溅射过程中反溅射物的脱落，保护了晶圆免受损伤，提升了镀膜质量，延长了靶材组件的使用寿命。

本发明授权一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法在权利要求书中公布了：1.一种具有分段式花纹结构的靶材组件，其特征在于，所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述靶材的端面具有第一分段式花纹结构；所述靶材的端面与侧面的连接处R角具有第二分段式花纹结构；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构分别独立地为至少2段式花纹结构；所述第一分段式花纹结构中每1段花纹的宽度为3-5mm；所述第一分段式花纹结构中每1段花纹与相邻花纹彼此嵌合排列；所述第一分段式花纹结构中每1段花纹与相邻花纹之间的嵌合深度为0.8-1.2mm；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构彼此嵌合排列；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构之间的嵌合深度为0.8-1.2mm；所述第一分段式花纹结构与第二分段式花纹结构的粗糙度分别独立地为10-15μm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宁波江丰电子材料股份有限公司，其通讯地址为：315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。