恭喜艾诺斯股份有限公司曾钰芬获国家专利权
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龙图腾网恭喜艾诺斯股份有限公司申请的专利一种具有空腔的传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113517235B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110385040.2，技术领域涉及：H01L23/13；该发明授权一种具有空腔的传感器是由曾钰芬;黄家彬;廖育萱;蔡群贤;李庭鹃;蔡群荣设计研发完成，并于2021-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有空腔的传感器在说明书摘要公布了：一种具有空腔的传感器，包含一基板、一腔体、一感测元件及一多孔凝胶材料，该腔体设置于该基板上且具有一腔壁以及形成于该腔壁内的一内部空间，该感测元件设置于该腔壁上，并且该多孔凝胶材料设置于该基板和该腔体之间，其中，该多孔凝胶材料具有不低于80％的孔隙率，使该腔体的该内部空间和外界形成气体连通，由此形成气体进出的通道、以平衡该具有空腔的传感器内的压力，并增加该具有空腔的传感器的支撑性，降低通常使用固晶胶结合感测元件与基板之间的风险。
本发明授权一种具有空腔的传感器在权利要求书中公布了：1.一种具有空腔的传感器，其特征在于，包含：一基板；一腔体，设置于所述基板上且具有一腔壁以及形成于所述腔壁内的一内部空间；一感测元件，设置于所述腔体的一顶壁；以及一多孔凝胶材料，设置于所述基板和所述腔体之间，所述多孔凝胶材料至少部分地设置于所述内部空间之中，所述多孔凝胶材料具有被所述腔壁包覆而未暴露于外界的一第一表面以及未被所述腔壁包覆而暴露于外界的一第二表面，其中，所述多孔凝胶材料具有不低于80%的孔隙率，使所述腔体的所述内部空间经由所述第二表面和外界形成气体连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人艾诺斯股份有限公司，其通讯地址为：美国加利福利亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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