恭喜细美事有限公司李贞焕获国家专利权
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龙图腾网恭喜细美事有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114446756B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111313478.6，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理装置是由李贞焕;李承杓设计研发完成，并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：一种基板处理装置，包括：腔室，所述腔室具有处理空间；第一电源，所述第一电源连接至设置在所述处理空间中的第一部件且向所述第一部件传输具有第一频率的功率；第二电源，所述第二电源设置在所述处理空间中，连接至不同于所述第一部件的第二部件，并且向所述第二部件传输具有小于所述第一频率的第二频率的功率；及耦合阻挡结构，所述耦合阻挡结构安装在连接至所述第二电源及所述第二部件的电力线上，其中所述耦合阻挡结构电连接至所述电力线且包括具有线圈形状的导线。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其包括：腔室，所述腔室具有处理空间；第一电源，所述第一电源为高频电源且被配置为向设置在所述处理空间中的第一部件施加功率；第二电源，所述第二电源为交流电AC电源或直流电DC电源且被配置为向设置在所述处理空间中的第二部件施加功率；和耦合阻挡结构，所述耦合阻挡结构安装在连接至所述第二电源及所述第二部件的电力线上且被配置为阻挡由所述第一电源产生的高频功率耦合至所述第二电源，其中所述耦合阻挡结构电连接至所述电力线，其中所述耦合阻挡结构包括：导线，所述导线具有线圈形状；介电质，所述介电质具有柱状形状，所述导线围绕所述介电质缠绕；导电部分，所述导电部分电连接至所述导线的一端及所述电力线的一端；及绝缘体，所述绝缘体被配置为环绕所述导电部分、所述介电质及所述导线，其中在所述介电质中形成螺旋沟槽，在所述螺旋沟槽中设置所述导线，并且其中在所述导电部分中形成销槽，连接至所述电力线的所述一端的导电销插入所述销槽中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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