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龙图腾网恭喜浙江最成半导体科技有限公司申请的专利溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114351096B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210091744.3，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法是由大岩一彦;姚科科;山田浩设计研发完成，并于2022-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种溅射靶材，包括靶材本体；靶材本体侧面外凸形成环形凸部；靶材本体的正面相对于环形凸部的正面凸出，靶材本体的背面相对于环形凸部的背面凸出。本发明还公开了一种靶材组件，包括所述的溅射靶材和设置在环形凸部背面的背板环，以及可选择性的设置在环形凸部正面的正面环。本发明还公开了所述靶材组件的制作方法，将环形凸部与背板环，或背板环、正面环，进行焊接接合，焊接头自背板环背面靠近外侧面插入直至接触或伸入环形凸部或正面环，焊接过程中焊接头逐渐向背板环内侧面移动。

本发明授权溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种溅射靶材，其特征在于，包括靶材本体（1）；靶材本体（1）侧面外凸形成环形凸部（2），环形凸部（2）所在的位置是用于与基台法兰固定连接的；靶材本体（1）的正面相对于环形凸部（2）的正面凸出，靶材本体（1）的背面相对于环形凸部（2）的背面凸出；环形凸部（2）与背板环（3），或，背板环（3）和正面环（4），体相一体焊接成型后整体作为高强度的连接部与基台法兰固定连接；焊接部位集中在环形凸部（2）区域；将环形凸部（2）与背板环（3）进行焊接接合，焊接头自背板环（3）背面靠近外侧面插入直至接触或伸入环形凸部（2），焊接过程中焊接头逐渐向背板环（3）内侧面移动，或者，将环形凸部（2）与背板环（3）、正面环（4）进行焊接接合，焊接头自背板环（3）背面靠近外侧面插入直至接触或伸入正面环（4），焊接过程中焊接头逐渐向背板环（3）内侧面移动；靶材本体（1）的正面为用于溅射的面，靶材本体（1）的背面为与溅射面相对的另一面；环形凸部（2）位于靶材本体（1）的正面和背面之间，其正面为相对而言更靠近靶材本体（1）溅射面的面，其背面为与环形凸部（2）正面相对的、相对而言更靠近靶材本体（1）背面的面。

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