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龙图腾网恭喜上海富乐德智能科技发展有限公司申请的专利一种半导体用ETCH设备中Bell jar的再生方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664699B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210206956.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体用ETCH设备中Bell jar的再生方法是由杨炜;贺贤汉;蒋立峰;许俊设计研发完成，并于2022-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体用ETCH设备中Bell jar的再生方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体用ETCH设备中Belljar的再生方法，包括硝氟酸浸泡：将待再生的Belljar用3M胶带保护密封面，用硝酸与氟酸的混合液进行去膜；用湿式喷砂机对Belljar内表面进行喷砂处理；用尼龙刷对Belljar内表面进行打磨处理；用温水进行浸泡；打磨过的Belljar内表面进行高压水清洗；将部件搬运至100级无尘室进行超声波清洗，而后采用超纯水冲洗，最后用氮气吹干。干燥：吹干后的部件放至无尘烘箱内进行加热干燥。有些工序是需要反复多次的。通过该再生方法，实现Belljar的重复稳定利用。

本发明授权一种半导体用ETCH设备中Bell jar的再生方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体用ETCH设备中Belljar的再生方法，其特征在于：ETCH设备中Belljar为石英材质；具体步骤如下：步骤一、第一次硝氟酸浸泡；将待再生的Belljar部件用胶带保护密封面，然后将Belljar部件内表面朝上外表面朝下放置在固定平台上，之后将18％的氢氟酸和23％的硝酸混合液倒入Belljar部件内进行浸泡20-30分钟；步骤二、湿式喷砂；用湿式喷砂机和白刚玉对Belljar部件进行喷砂作业；湿式喷砂压力设定2-3kgcm2,砂材型号60目，部件与喷砂枪的距离在10-20cm之间，部件与喷砂枪的角度在45-90°之间；步骤三、第一次打磨；用尼龙刷对Belljar部件内表面进行整体打磨刷洗，并避免尼龙刷本体塑料碰到部件内壁；用尼龙刷对Belljar部件内表面进行整体打磨刷洗1-3分钟；步骤四、第一次高压水洗；步骤五、第二次硝氟酸浸泡；首先确认Belljar部件的密封面上的胶带仍然完好，然后将部件整体放入用18％的氢氟酸和23％的硝酸混合液中，浸泡1-2分钟；步骤六、第二次打磨；用尼龙刷对Belljar部件内表面进行整体打磨刷洗，并避免尼龙刷本体塑料碰到部件内壁；用尼龙刷对Belljar部件内表面进行整体打磨刷洗1-3分钟；步骤七、第二次高压水洗；步骤八、温水浸泡；步骤九、第三次打磨；用尼龙刷对Belljar部件内表面进行整体打磨刷洗，并避免尼龙刷本体塑料碰到部件内壁；用尼龙刷对Belljar部件内表面进行整体打磨刷洗1-3分钟；步骤十、第三次高压水洗；步骤十一、第一次干燥；步骤十二、超声波清洗；将Belljar部件搬运至100级无尘室进行超声波清洗，然后采用超纯水冲洗1min，最后用氮气吹干；步骤十三、第二次干燥；将吹干后的部件放至无尘烘箱内进行加热干燥，烘箱温度设定为140-160℃，恒温时间设定为100-140min，程序结束后在40℃以下开烘箱进行无尘包装。

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