恭喜内蒙古工业大学赵学平获国家专利权
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龙图腾网恭喜内蒙古工业大学申请的专利一种扫描电镜中的扫描透射成像装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114695040B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210329055.1,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权一种扫描电镜中的扫描透射成像装置是由赵学平;白朴存;侯小虎;刘飞;张海;崔晓明设计研发完成,并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扫描电镜中的扫描透射成像装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种扫描电镜中的扫描透射成像装置,包括样品台、固定座、支撑框和背散射电子探头;样品台设置于支撑框顶端,用于固定待观察样品;背散射电子探头设置于固定座上,用于接收穿过待观察样品的透射散射电子;固定座设置于支撑框内,并与支撑框连接,用于调节背散射电子探头距样品台的距离。本发明使用扫描电镜自带的背散射电子探头做透射散射电子信号探测器,无需单独购买STEM附件,可大幅降低扫描电镜升级扫描透射成像功能的成本;固定座可在支撑框内上下滑动,从而改变透射散射电子接收角的大小,实现高、低角环形暗场像的采集。本发明可显著减少电子束对待观察样品的损伤,适合于耐电子束辐照性较差样品的透射分析。
本发明授权一种扫描电镜中的扫描透射成像装置在权利要求书中公布了:1.一种扫描电镜中的扫描透射成像装置,其特征在于,包括样品台、固定座、支撑框和背散射电子探头;所述样品台设置于所述支撑框顶端,用于固定待观察样品;所述背散射电子探头设置于所述固定座上,用于接收穿过待观察样品的透射散射电子;所述固定座设置于所述支撑框内,并与所述支撑框连接,用于调节所述背散射电子探头距所述样品台的距离;所述样品台包括支撑片和盖片;所述支撑片的第一表面上开设有样品凹槽,所述样品凹槽用于承载所述待观察样品;所述盖片固定于所述支撑片上,所述盖片的第一表面与所述待观察样品相接,用于将所述待观察样品固定于所述样品凹槽内;所述支撑片的第二表面上开设有第一漏斗形凹槽,所述第一漏斗形凹槽与所述样品凹槽相接,且所述第一漏斗形凹槽在所述支撑片的第二表面上的直径大于所述第一漏斗形凹槽与所述样品凹槽相接处的直径;所述盖片的第二表面上开设有第二漏斗形凹槽,所述第二漏斗形凹槽在所述盖片的第二表面上的直径大于所述第二漏斗形凹槽在所述盖片的第一表面上的直径。
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