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龙图腾网恭喜哈工大机器人(合肥)国际创新研究院申请的专利一种RTP设备自动化结构和实施方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115188690B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210666518.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种RTP设备自动化结构和实施方法是由杨锋;马兰设计研发完成，并于2022-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种RTP设备自动化结构和实施方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种RTP设备自动化结构和实施方法，支架中间设置有多个顶针用于支撑圆晶片，支架的两侧梁上端分别开设有对称的凹槽，支架的尾部处转动安装有连杆；温度补偿环固定安装在圆环上，圆环的底部远离中心的位置固定安装有横置的转动棒；转动棒的两端分别安装在支架的两侧梁的凹槽内；连接部开设有转动槽，支杆通过转动槽和连杆的配合转动安装在支架上，支撑部抵在圆环的下端。本发明的圆环一侧底部通过转动棒转动安装在支架上，另一侧底部由支杆的支撑部抵靠，通过让支杆的支撑部向下运动，从而使得圆环和温度补偿环能够与水平面呈一定的夹角，让晶圆片能够顺利放入温度补偿环的中间。因此本发明的整体结构简单，容易实现。

本发明授权一种RTP设备自动化结构和实施方法在权利要求书中公布了：1.一种RTP设备自动化结构，其特征在于：包括支架1、圆环2、温度补偿环3和支杆4；所述支架1为框架结构，包括两侧梁11和位于两侧梁11的端部且连接两侧梁11的横梁12；所述支架1中间设置有多个顶针13用于支撑圆晶片，所述支架1的两侧梁11上端分别开设有对称的凹槽111，所述支架1的尾部处转动安装有连杆14；所述温度补偿环3固定安装在圆环2上，所述圆环2的底部远离中心的位置固定安装有横置的转动棒21；所述转动棒21的两端分别安装在支架1的两侧梁11的凹槽111内；所述支杆4具有连接部41和支撑部42，所述支撑部42位于连接部41的前端；所述连接部41开设有转动槽411，所述支杆4通过转动槽411和连杆14的配合转动安装在所述支架1上，所述支撑部42抵在圆环2的下端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈工大机器人(合肥)国际创新研究院，其通讯地址为：230031 安徽省合肥市经济技术开发区宿松路3963号智能装备科技园C区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。