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龙图腾网恭喜深圳市容微精密电子有限公司申请的专利一种弹性探针卡制备方法、弹性探针卡获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115078792B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210684321.2，技术领域涉及：G01R3/00；该发明授权一种弹性探针卡制备方法、弹性探针卡是由刘才君;刘旭设计研发完成，并于2022-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种弹性探针卡制备方法、弹性探针卡在说明书摘要公布了：本发明提供一种弹性探针卡制备方法和一种弹性探针卡，本发明通过第一刻蚀图案对基板进行刻蚀以得到基部和连接在基部上的探针构成的探针卡，其中，探针的弹性部由多个相间设置的反向凸起首尾连接形成，使得探针具有较好的弹性形变效果，并通过第二刻蚀图案对金属层进行刻蚀得到表面金属化的探针，使得探针之间实现电气隔离，并增加了探针的强度，使得探针在弹性形变时更稳定，本发明通过仅仅采用两次掩膜即可制得间距较小的弹性探针卡，使得制造成本更低，制造工艺更简单，并可以对探针进行针对性的拆卸更换，大大提升了探针的使用寿命和灵活性，并更有利于进行批量制造和成本管控。

本发明授权一种弹性探针卡制备方法、弹性探针卡在权利要求书中公布了：1.一种弹性探针卡制备方法，所述探针卡包括多个探针金属层，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：在基板的一表面形成第一光刻胶；对所述第一光刻胶进行曝光显影以得到第一刻蚀图案，其中，所述第一刻蚀图案与所述探针卡结构相对应；根据所述第一刻蚀图案对所述基板进行刻蚀以得到所述探针卡，其中，所述探针卡包括基部和连接在所述基部上并间隔一定距离设置的所述探针，所述探针包括弹性部和针尖，所述针尖的尾部连接在所述弹性部的一端，所述弹性部由多个相间设置的反向凸起首尾连接形成；去除剩余的所述第一光刻胶；在所述探针卡表面形成一金属层；在所述金属层表面形成第二光刻胶；对所述第二光刻胶进行曝光显影以得到第二刻蚀图案，其中，所述第二刻蚀图案与所述探针金属层结构相对应；根据所述第二刻蚀图案对所述金属层进行刻蚀以得到覆盖在所述探针至少一侧的所述探针金属层以及与所述探针金属层连接的金属块，其中，所述金属块位于所述基部上，且相邻所述探针对应的所述金属块之间间隔一定距离设置以形成相邻所述探针之间用于电气绝缘的空间；去除剩余的所述第二光刻胶以得到表面金属化的所述探针卡。

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