恭喜深圳市容微精密电子有限公司王文兵获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市容微精密电子有限公司申请的专利一种探针卡制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115060941B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210684307.2，技术领域涉及：G01R3/00；该发明授权一种探针卡制备方法是由王文兵;王少刚设计研发完成，并于2022-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种探针卡制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种探针卡制备方法，本发明通过在所述基板上采用刻蚀工艺形成结构基本一致的所述刻蚀孔，为后续制成规格基本一致的所述探针做好充分的准备，通过在所述基板表面形成包括基层以及位于所述刻蚀孔处的探针部分的所述第一导电层，并对所述基层进行刻蚀得到连接所述探针部分的基部，再对所述基层刻蚀掉的部分填充所述第一绝缘层，并在所述第一绝缘层表面形成所述第二导电层，再对所述第二导电层进行刻蚀以得到连接所述基部的电路，再在所述电路的表面以及所述第二导电层刻蚀掉的部分形成第二绝缘层，最后将所述基板进行分离以制得所述探针卡，从而更好的控制了制造成本。
本发明授权一种探针卡制备方法在权利要求书中公布了：1.一种探针卡制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：对基板的一表面进行刻蚀以得到用于后续形成探针的刻蚀孔；在所述表面形成第一导电层；其中，所述第一导电层包括基层以及位于所述刻蚀孔处的探针部分；对所述基层进行刻蚀得到基部；其中，所述基部连接所述探针部分；对所述基层刻蚀掉的部分填充第一绝缘层；在所述第一绝缘层的表面形成第二导电层；对所述第二导电层进行刻蚀以得到连接所述基部的电路；在所述电路的表面以及所述第二导电层蚀掉的部分形成第二绝缘层；将所述基板分离以得到所述探针卡。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市容微精密电子有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区观湖街道樟坑径社区上围工业区2000069栋金倡达F栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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