买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜超微声科技术(苏州)有限公司申请的专利一种抽真空装置以及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115354293B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210817275.9，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种抽真空装置以及其控制方法是由吴向红设计研发完成，并于2022-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种抽真空装置以及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体镀膜领域技术领域，尤其涉及一种抽真空装置以及其控制方法。该抽真空装置中的底座具有通风腔，底座的上表面开设有多个通风口与通风腔相连通，底座安装于真空腔室底部，底座上表面用于承载基片。机械泵与真空腔室相连，用于对真空腔室进行抽取真空。第一机壳具有第一容纳腔，第一容纳腔与真空腔室相连通。蒸发器安装于第一容纳腔内，蒸发器用于将真空腔室内进入第一机壳内的气体冷凝液化。第二机壳具有第二容纳腔，第二容纳腔与第一容纳腔相连通，第二容纳腔还与通风腔相连通。冷凝器安装于第二容纳腔内，冷凝器用于将第二机壳内的气体加热后输送至通风腔内。本发明用于镀膜设备。

本发明授权一种抽真空装置以及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种抽真空装置，其特征在于，包括：真空腔室；底座，具有通风腔，所述底座的上表面开设有多个通风口与所述通风腔相连通，所述底座安装于所述真空腔室底部；机械泵，与所述真空腔室相连，用于对所述真空腔室进行抽取真空；第一机壳，具有第一容纳腔，所述第一容纳腔与所述真空腔室相连通；蒸发器，安装于所述第一容纳腔内，所述蒸发器用于将所述真空腔室内进入所述第一机壳内的气体冷凝液化；第二机壳，具有第二容纳腔，所述第二容纳腔与所述第一容纳腔相连通，所述第二容纳腔还与所述通风腔相连通；冷凝器，安装于所述第二容纳腔内，所述冷凝器用于将所述第二机壳内的气体加热后输送至所述通风腔内；基片承载面，位于所述底座的上表面，多个所述通风口绕所述基片承载面的周围设置，多个所述通风口的出口面积加在一起小于所述真空腔室与所述第二机壳连通处的开口面积，所述通风口倾斜设置，且所述通风口的出风方向朝向远离所述基片承载面的方向设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人超微声科技术(苏州)有限公司，其通讯地址为：215512 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区江南大道59号滨江科技创新中心5幢506；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。