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龙图腾网恭喜西安交通大学;中国航发控制系统研究所申请的专利一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115265848B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210907400.5，技术领域涉及：G01L1/14；该发明授权一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器是由方续东;高博楠;方子艳;李瑜;饶浩;孙昊;吴晨;邓武彬;吴俊侠;赵立波;田边;韩香广;王淞立;王鑫垚;陈兆翔;蒋庄德设计研发完成，并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器，包括依次设置的玻璃层，谐振器层以及敏感膜层，敏感膜层包括压力敏感膜和固定在压力敏感膜层上的两个硅岛；所述谐振器层包括分别与两个硅岛连接的两个可动锚点；每个可动锚点一端两侧分别与两个谐振梁第一端连接，位于同一侧的谐振梁第二端与同一个质量块连接，两个质量块通过耦合梁连接；所述耦合梁包括四根一端连接至连接点的单梁；谐振梁外侧设置有激励结构，激励结构外设置有检测结构。本发明的耦合梁为四点接触式耦合梁，在满足对两质量块耦合并为谐振器提供刚度增大模态频率间隔的同时，也能够有效减少加速度冲击对耦合梁结构的影响，从而保证传感器工作的稳定性。

本发明授权一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于静电激励电容检测的硅谐振压力传感器，其特征在于，包括依次设置的玻璃层（1）、谐振器层（2）和敏感膜层（3），所述敏感膜层（3）包括压力敏感膜（5）和固定在压力敏感膜（5）层上的两个硅岛（6）；所述谐振器层（2）包括分别与两个硅岛（6）连接的第一可动锚点（131）和第二可动锚点（132）；所述第一可动锚点（131）一端的两侧分别与第一谐振梁（141）以及第四谐振梁（144）一端连接，第二可动锚点（132）一端的两侧分别与第二谐振梁（142）以及第三谐振梁（143）一端连接，第一谐振梁（141）和第二谐振梁（142）另一端与第一质量块（191）连接，第三谐振梁（143）和第四谐振梁（144）另一端与第二质量块（192）连接；第一质量块（191）与第二质量块（192）通过耦合梁（20）连接；所述耦合梁（20）包括四根一端连接至连接点的单梁；所述第一谐振梁（141）和第二谐振梁（142）外侧设置有第一激励结构，所述第一激励结构外设置有第一检测结构；所述第三谐振梁（143）和第四谐振梁（144）外侧设置有第二激励结构，第二激励结构外设置有第二检测结构；所述第一激励结构和第二激励结构相同，所述第一激励结构包括第一激励定齿（171）和第二激励定齿（172），所述第一激励定齿（171）一侧设置有第一激励动齿（181），另一侧与第一激励电极（81）连接；所述第二激励定齿（172）一侧设置有第二激励动齿（182），另一侧与第二激励电极（82）连接；所述第一检测结构和第二检测结构相同；所述第一检测结构包括第一检测动齿（161），所述第一检测动齿（161）外侧设置有第一检测定齿（151），所述第一检测定齿（151）与第一检测电极（91）连接；所述第一可动锚点（131）一端的两侧向外延伸悬置，两侧悬置部位分别与第一谐振梁（141）和第四谐振梁（144）一端连接；所述第二可动锚点（132）一端的两侧向外延伸悬置，两侧悬置部位分别与第二谐振梁（142）和第三谐振梁（143）一端连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安交通大学;中国航发控制系统研究所，其通讯地址为：710049 陕西省西安市咸宁西路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。