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龙图腾网恭喜厦门特仪科技有限公司申请的专利一种晶圆自动撕金设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115274509B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210984710.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆自动撕金设备是由吴泽斌;王世锐;郑兴农设计研发完成，并于2022-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆自动撕金设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆自动撕金设备，其包括：下料装置，控制器，原料架，供膜机构，切刀机构，翻转机构，送料装置，取料装置，压膜机构，拉膜机构。送料装置包括送料机构，送料机构上设有限位工位。取料装置用于实现晶圆在原料架和限位工位上位置交替。压膜机构和送料机构配合将白膜贴合在晶圆表面。拉膜机构用于牵拉白膜。拉膜机构、压膜机构和送料机构配合将贴合在晶圆表面的白膜撕开；拉膜机构和切刀机构配合可将白膜固定；拉膜机构、切刀机构和翻转机构配合将翻转180°的白膜贴合在拉膜机构和切刀机构固定的白膜上。本发明能够实现对晶圆全自动撕金，撕金工艺简单且撕金彻底，而且设备的结构布局紧凑、体积小，便于厂房布置和搬运。

本发明授权一种晶圆自动撕金设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动撕金设备，其特征在于，包括：至少一原料架，用于码放晶圆；供膜机构，用于供应白膜；送料装置，置于所述原料架和供膜机构的下方，所述送料装置包括至少一组送料机构，所述送料机构上布设有若干用于限位放置晶圆的限位工位，所述送料机构驱动限位工位在原料架和供膜机构之间往返移动；所述送料机构包括第一Y轴移动模组和载台，所述第一Y轴移动模组驱动载台移动；所述载台包括基板、载板、若干第一Z轴移动模组和若干顶升架；所述载板的顶面局部凹陷形成限位工位，所述顶升架与限位工位一一对应；所述顶升架包括底板、若干导向杆和若干支撑杆，所述支撑杆在底板上圆周布设，所述导向杆在底板上圆周布设，所述导向杆置于支撑杆的外侧，所述导向杆的长度大于支撑杆的长度；所述载板上设有与导向杆一一配合的导向孔以及与支撑杆一一配合的过孔；所述第一Z轴移动模组设置在基板上，所述第一Z轴移动模组的数量与限位工位的排数相等并一一对应，所述第一Z轴移动模组同步地驱动归属于同一排的所有顶升架相对载板移动；至少一取料装置，用于将所述原料架上的晶圆抓取并放置到限位工位，或者将所述限位工位上的晶圆抓取并码放到原料架上；压膜机构，置于所述送料机构上方并靠近供膜机构设置，所述压膜机构和送料机构配合将白膜紧密地贴合在送料机构上放置的晶圆表面；所述压膜机构包括压膜气缸、第一安装板、第二安装板、至少一压膜辊和至少两伸缩组件，所述压膜气缸的座体与第一安装板固定，所述第一安装板上设有至少一导套，所述第二安装板与压膜气缸的推杆连接，所述第二安装板上设有与导套一一对应的导柱，所述导柱滑动连接在导套中；所述伸缩组件包括滑杆和弹簧，所述第二安装板上设有与滑杆配合的滑孔，所述滑杆滑动连接在滑孔中；所述滑杆的上端设有与滑孔配合的限位件，下端设有与弹簧配合的挡片；所述弹簧套设在滑杆上，且弹簧的两端分别抵接挡片和第二安装板；所述压膜辊的端部与滑杆的下端连接；所有所述压膜辊的底部平齐设置；切刀机构，置于所述压膜机构上方，用于切断白膜；翻转机构，用于将切断的白膜翻转180°；拉膜机构，所述拉膜机构牵拉白膜依次通过压膜机构、切刀机构和翻转机构；所述拉膜机构、压膜机构和送料机构配合将贴合在晶圆表面的白膜撕开；所述拉膜机构和切刀机构配合可将白膜固定；所述拉膜机构、切刀机构和翻转机构配合将翻转180°的白膜贴合在拉膜机构和切刀机构固定的白膜上；所述拉膜机构包括第三Y轴移动模组、滑座、两第二夹膜气缸、两第二夹膜上板和两第二夹膜下板，所述第三Y轴移动模组驱动滑座移动，所述第二夹膜气缸、第二夹膜上板和第二夹膜下板一一对应，所述第二夹膜下板和第二夹膜气缸的座体固定在滑座上，所述第二夹膜上板与第二夹膜气缸的推杆连接，所述第二夹膜上板和第二夹膜下板配合可夹持白膜；下料装置，用于将贴合的两片白膜抓取并放置到指定地点；控制器，连接所述送料装置、取料装置、供膜机构、压膜机构、切刀机构、翻转机构、拉膜机构和下料装置。

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