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恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权

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龙图腾网恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115415672B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211204421.7,技术领域涉及:B23K26/352;该发明授权一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法是由姚力军;潘杰;陈石;廖培君设计研发完成,并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法,待抛光钛铝合金靶材的溅射面依次经过预处理、激光抛光和清洗,得到光滑的钛铝合金靶材;利用靶材的轴向转动与激光的水平移动完成靶材溅射面的抛光,且机床主轴6‑10rs的转速转动结合激光器0.2‑0.4mms的移动速度,使得抛光路径全覆盖靶材的溅射面,降低靶材溅射面的粗糙度,提高生产效率。

本发明授权一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法在权利要求书中公布了:1.一种钛铝合金靶材溅射面的抛光方法,其特征在于,所述抛光方法包括如下步骤:将待抛光钛铝合金靶材的溅射面依次经过预处理、激光抛光和清洗,得到光滑的钛铝合金靶材;所述激光抛光在激光加工装置中进行,所述激光加工装置包括机床主轴和设置在所述机床主轴上方的激光器;所述激光器发出的激光光束为平顶光束;所述激光光束的脉冲宽度为150-250ns;所述激光抛光包括:将所述待抛光钛铝合金靶材固定在所述机床主轴上,所述激光器设置在待抛光钛铝合金靶材的边缘的正上方;开启所述激光加工装置,所述机床主轴以6-10rs的转速转动,同时所述激光器以0.2-0.4mms的速度沿靶材半径方向从靶材边缘向靶材中心水平移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宁波江丰电子材料股份有限公司,其通讯地址为:315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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