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龙图腾网恭喜深圳森丰真空镀膜有限公司申请的专利一种适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115613000B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211208611.6，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器是由汪达文;陆作军;汪选林设计研发完成，并于2022-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器，该真空镀膜器中包括有炉体；用于搭载靶材进行镀膜加工的靶材组件；用于搭载基材进行镀膜加工的基材组件；沿其周向开设多个基材槽的转盘；以及，用于输出驱动力的中心驱动器；靶材组件、基材组件以及转盘均设置在炉体内；靶材组件与炉体连接；中心驱动器与炉体连接，转盘套在中心驱动器的动力输出轴上并与其连接；基材组件与基材槽相适配，基材组件均嵌入基材槽中，且每一个基材组件均与转盘可拆卸式连接。相比于现有技术，本申请提供的适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器具有工位多且适应性强、驱动方便、便于灵活使用的有益效果。

本发明授权一种适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器在权利要求书中公布了：1.一种适用于多种基材尺寸的多工位真空镀膜器，其特征在于，该真空镀膜器中包括有：具有内部空间，用于构造真空镀膜环境的炉体；用于搭载靶材进行镀膜加工的靶材组件；用于搭载基材进行镀膜加工的基材组件；沿其周向开设多个基材槽的转盘；以及，用于输出驱动力的中心驱动器；所述靶材组件、所述基材组件以及所述转盘均设置在所述炉体内；所述靶材组件与所述炉体连接；所述中心驱动器与所述炉体连接，所述转盘套在所述中心驱动器的动力输出轴上并与其连接；所述基材组件与所述基材槽相适配，所述基材组件均嵌入所述基材槽中，且每一个所述基材组件均与所述转盘可拆卸式连接；每一个所述基材组件中均包括有基材安装件，所述基材安装件包括有基材底座以及基材轴；所述基材轴插接在所述基材底座上，与所述基材底座连接；所述转盘包括有转盘本体，所述基材槽开设在所述转盘本体上；每一个所述基材槽均与所述基材底座相适配，所述基材底座从所述基材槽的槽口嵌入、沿所述基材槽在其槽口与槽底之间滑动；所述基材槽呈现为“U”字形，其槽深不小于一个所述基材底座的宽度；所述靶材组件中包括有内靶与外靶；所述内靶包括有内靶电机以及内靶轴，所述内靶电机的机身与所述炉体连接，其电机输出轴向所述炉体内部伸出，所述内靶轴连接所述内靶电机的电机输出轴；所述外靶包括有外靶电机以及外靶轴，所述外靶电机的机身与所述炉体连接，其电机输出轴向所述炉体内部伸出，所述外靶轴与所述外靶电机连接。

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