恭喜宁波圆芯电子有限公司;睿芯(大连)股份有限公司肖涵获国家专利权
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龙图腾网恭喜宁波圆芯电子有限公司;睿芯(大连)股份有限公司申请的专利一种二维IGZO纳米片材料及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116022840B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310055394.X,技术领域涉及:C01G15/00;该发明授权一种二维IGZO纳米片材料及其制备方法是由肖涵;孙俊峰;马燕;陈韦宁设计研发完成,并于2023-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种二维IGZO纳米片材料及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种二维片层状IGZO半导体材料及其制备方法。具体制备方法为采用溶胶凝胶法将铟盐,镓盐,锌盐分别在水中搅拌溶解,混合均匀后,加入碱性添加剂使三种盐产生共沉淀,添加搅拌稳定后的pH为4~9。在烘箱中热处理进行反应获得IGZO前驱体,洗涤干燥获得前驱体粉末,将粉末在800‑1300℃下高温烧结成IGZO纳米片。本发明获得的IGZO纳米片直径为100nm~5μm,片层厚度100nm,纳米片可分散于适合溶剂,如二甲基亚砜,N‑甲基吡咯烷酮,乙二醇等溶剂中,经加工后可用于印刷喷墨打印用n型半导体制备或薄膜半导体功能模块的生产。
本发明授权一种二维IGZO纳米片材料及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种二维片状IGZO纳米片的应用,其特征在于,IGZO纳米片分散于溶剂中,经加工后用于印刷喷墨打印用n型半导体制备或薄膜半导体功能模块的生产;所述二维片状IGZO纳米片直径为100nm~1μm,厚度为<50nm;IGZO纳米片的制备方法,包括以下步骤:(1)将铟盐,镓盐,锌盐分别加入溶剂中,形成金属盐溶液,浓度均为0.005~0.5M;(2)将(1)中所述的三种金属盐溶液混合均匀后,向其中添加碱性添加剂,加入碱性添加剂后溶液pH为4~9;(3)将步骤(2)得到的溶液放入烘箱中进行热处理,得到IGZO前驱体溶液,所述热处理温度为60-130℃;(4)洗涤、干燥,得到IGZO前驱体粉末;(5)将步骤(4)得到的IGZO前驱体粉末进行烧结,得到IGZO纳米片,所述烧结温度为800-1300℃。
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