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恭喜晋中学院王晓波获国家专利权

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龙图腾网恭喜晋中学院申请的专利一种复合结构金属陶瓷光热转换涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116083840B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310082675.4,技术领域涉及:C23C14/02;该发明授权一种复合结构金属陶瓷光热转换涂层及其制备方法是由王晓波;李克伟;宫殿清设计研发完成,并于2023-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种复合结构金属陶瓷光热转换涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于特种涂层制备技术领域,提供了一种复合结构金属陶瓷光热转换涂层及其制备方法。该涂层由下到上包括:316不锈钢基体、Cr红外反射层、AlCrON纳米复合吸收层和AlCrO减反射层。其中,AlCrON吸收层由AlN、CrN纳米粒子和非晶电介质交替自组织形成,AlN、CrN纳米粒子呈规则分层化排列,并与非晶电介质基体形成了多个调制周期。本发明复合结构金属陶瓷光热转换涂层可复合氮化物优异的热稳定性和金属陶瓷涂层高的光谱选择吸收性能;本发明所采用的制备方法和技术工艺简单,成本低,沉积效率高,过程可控,适用于大规模的工业化生产。

本发明授权一种复合结构金属陶瓷光热转换涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种复合结构金属陶瓷光热转换涂层,该涂层自下而上包括:316不锈钢基体、Cr红外反射层、AlCrON纳米复合吸收层和AlCrO减反射层;其中:AlCrON纳米复合吸收层是由AlN、CrN纳米粒子和非晶电介质基体沉积而成的纳米复合结构,涂层总厚度为100nm;AlN、CrN纳米粒子呈分层化分布,厚度为3~6nm;非晶电介质基体单层厚度为4~8nm,纳米粒子和非晶呈周期性分布;AlCrON纳米复合吸收层中金属陶瓷成分体积占比为1:3~3:4;该复合结构金属陶瓷光热转换涂层由如下方法制得:1清洗基体:将机械抛光好的316不锈钢片分别用丙酮和无水乙醇超声清洗,烘干,得316不锈钢基体备用;2抽真空:将316不锈钢基体固定在多弧离子镀设备炉室中的旋转支架上,关闭炉门,开启转架自旋,真空室加热至200~300℃;3等离子体刻蚀清洗:真空度达到要求后,通入高纯Ar,并施加偏压,在0.4~0.8Pa的炉室中清洗5~10min;4红外反射Cr的沉积:开启Cr靶电源,调节Ar流量,使炉室气压保持在0.4~0.8Pa,施加基体偏压并保持5~10min;5AlCrON纳米复合吸收层的沉积:开启AlCr靶电源,通入20~50sccm的O2,调节N2流量,使炉室气压保持在0.4~0.8Pa,施加基体偏压并保持2~5min;6AlCrO减反射层的沉积:开启AlCr靶电源,通入100~150sccm的O2,调节Ar流量,使炉室气压保持在0.4~0.8Pa,施加基体偏压并保持2~5min;7沉积结束,依次关闭电弧靶电源、偏压电源、气阀、加热电源,待真空室温度降至室温后开启炉门,取出样品,获得复合结构金属陶瓷光热转换涂层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人晋中学院,其通讯地址为:030619 山西省晋中市榆次区文华街199号晋中学院;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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