恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网恭喜宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种磁控溅射托盘的整平方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116254512B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310249182.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射托盘的整平方法是由姚力军;潘杰;王学泽;章泽鑫设计研发完成，并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射托盘的整平方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种磁控溅射托盘的整平方法，所述整平方法包括：将变形的磁控溅射托盘与保护垫装配后依次进行第一热压处理、第二热压处理、第三热压处理和冷却；所述第一热压处理为恒温恒压过程；所述第二热压处理为变温恒压过程，升温速率为2‑5℃min；所述第三热压处理为恒温变压过程，降压速率为10‑20Nmin。本发明提供的整平方法，通过对整平工艺的设计，实现了对磁控溅射托盘的高效整平，整平后的平面度可以达到原始水平，同时使用寿命较原始磁控溅射托盘有进一步地提升。
本发明授权一种磁控溅射托盘的整平方法在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射托盘的整平方法，其特征在于，所述整平方法为：将变形的磁控溅射托盘与保护垫装配后依次进行第一热压处理、第二热压处理、第三热压处理和冷却；所述第一热压处理为恒温恒压过程；所述第一热压处理的温度为100-150℃；所述第一热压处理的压力为300-400N；所述第一热压处理的时间为30-60min；所述第二热压处理为变温恒压过程，升温速率为2-5℃min；所述第二热处理的起始温度为180-200℃；所述第二热处理的压力为100-200N；所述第二热处理的时间为10-15min；所述第三热压处理为恒温变压过程，降压速率为10-20Nmin；所述第三热处理的温度为200-250℃；所述第三热处理的起始压力为800-900N；所述第三处理的时间为10-20min。
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