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龙图腾网恭喜中芯智达半导体科技(上海)有限公司申请的专利晶圆机器人的机械性能诊断方法、装置、终端、介质及晶圆机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116352760B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310347860.1，技术领域涉及：B25J19/00；该发明授权晶圆机器人的机械性能诊断方法、装置、终端、介质及晶圆机器人是由郭景华;李彬彬设计研发完成，并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆机器人的机械性能诊断方法、装置、终端、介质及晶圆机器人在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆机器人的机械性能诊断方法、装置、终端、介质及晶圆机器人，通过获取晶圆机器人的各运动机械机构在正常搬运工作中单独运行时由其各自内部对应筛选设置的振动采集装置所采集的振动数据，分别对各运动机械机构进行机械性能诊断分析。本发明将所需的振动采集装置安装在各运动机械机构内部，传感器本身尺寸小巧重量轻，不会影响机械机构原有的尺寸和转动惯量。且振动采集装置所采集的振动数据对于各运动机械机构的故障诊断以及剩余寿命预测具有重要的意义，随着工业控制技术的发展，利用先进的算法进行故障诊断和设备健康状态监测，以确保晶圆机器人的运行可靠性和精度。

本发明授权晶圆机器人的机械性能诊断方法、装置、终端、介质及晶圆机器人在权利要求书中公布了：1.一种晶圆机器人的机械性能诊断方法，其特征在于，包括：获取晶圆机器人的各运动机械机构在正常搬运工作中单独运行时由其各自内部对应筛选位置设置的振动采集装置所采集的振动数据；基于各振动采集装置分别采集的振动数据，分别对各运动机械机构进行机械性能诊断分析，以供获得所述晶圆机器人中各运动机械机构的机械性能诊断分析结果；每个运动机械机构内的多个不同备选位置分别对应设有相同的振动采集装置；且每个运动机械机构的振动采集装置的筛选位置设置方式包括：获取每个运动机械机构在分别采用正常性能传动部件以及异常传动部件单独运行时由设置在各备选位置的振动采集装置所分别对应采集的正常振动数据以及异常振动数据；从每个运动机械机构内的各振动采集装置所在的备选位置中分别筛选正常振动数据与异常振动数据之间差距最大的振动采集装置所在的备选位置作为对应运动机械机构内最终设置的振动采集装置的筛选位置；所述晶圆机器人中各运动机械机构包括：内部的筛选位置分别设置有一振动采集装置的升降机构、第一机械臂机构、第二机械臂机构、第一末端执行器机构以及第二末端执行器机构；其中，所述升降机构，包括：升降电机，用于结合丝杠带动第一机械臂机构、第二机械臂机构、第一末端执行器机构以及第二末端执行器机构沿升降轴上下运动；所述第一机械臂机构，包括：第一转轴电机，用于结合同步带轮带动第二机械臂机构、第一末端执行器机构以及第二末端执行器机构绕第一旋转轴旋转；所述第二机械臂机构，包括：第二转轴电机，用于结合同步带轮带动第一末端执行器机构以及第二末端执行器机构绕第二旋转轴旋转；所述第一末端执行器机构，包括：第三转轴电机，用于结合同步带轮带动第一末端执行器绕第三旋转轴旋转；所述第二末端执行器机构，包括：第四转轴电机，用于结合同步带轮带动第二末端执行器绕第三旋转轴旋转；并且其中，所述升降轴与第一旋转轴、第二旋转轴以及第三旋转轴平行；所述升降机构、第一末端执行器机构以及第二末端执行器机构的备选位置分别设置于所述升降机构、第一末端执行器机构以及第二末端执行器机构内的不同位置；所述第一机械臂机构的备选位置分别设置于所述第一机械臂机构内且位于所述第一旋转轴与第二旋转轴之间的不同位置；所述第二机械臂机构的备选位置分别设置于所述第二机械臂机构内且位于所述第二旋转轴与第三旋转轴之间的不同位置；所述升降机构的正常性能传动部件以及异常传动部件分别采用正常丝杠以及异常丝杠；所述第一机械臂机构、第二机械臂机构、第一末端执行器机构以及第二末端执行器机构的正常性能传动部件以及异常传动部件分别采用正常同步带轮以及异常同步带轮；所述基于各振动采集装置分别采集的振动数据，分别对各运动机械机构进行机械性能诊断分析，以供获得所述晶圆机器人中各运动机械机构的机械性能诊断分析结果包括：判断各振动采集装置分别采集的振动数据的数据量是否超过标准数据量；对超过标准数据量的振动数据进行数据处理操作，以获得对应的机械性能诊断分析结果；所述数据处理操作包括：对超过标准数据量的各振动数据中的X、Y以及Z轴的振幅与加速度数据分别计算对应绝对均值、均方根值、标准差和峭度；基于故障诊断条件，根据各振动数据中的各轴的绝对均值、均方根值、标准差和峭度判断对应运动机械机构的机械性能诊断分析结果；或者，所述数据处理操作包括：对超过标准数据量的各振动数据中的X、Y以及Z轴的数据进行傅里叶变换，再进行时频转换，获得对应振动采集装置的频谱图；提取各频谱图的频率及幅值判断对应频谱图是否具有故障频率特征，以供获得所对应的运动机械机构的机械性能诊断分析结果。

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