恭喜天津大学马雷获国家专利权
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龙图腾网恭喜天津大学申请的专利一种超大单晶畴半导体石墨烯及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117448969B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311446570.9,技术领域涉及:H01L21/02;该发明授权一种超大单晶畴半导体石墨烯及其制备方法是由马雷;边博岳;纪佩璇;张凯敏;赵健;李雅奇;李睿;田昊;覃振杰设计研发完成,并于2023-11-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超大单晶畴半导体石墨烯及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体器件技术领域,公开了一种超大单晶畴半导体石墨烯及其制备方法,该半导体石墨烯为单层且均匀生长,半导体石墨烯的晶畴宽度可达500微米,长度为亚厘米量级,室温迁移率至少达到4500cm2V·s;其可以采用碳膜辅助法大幅度增加平台面积,能够实现同时在两片SiC衬底上制备超大单晶畴半导体石墨烯;也可以在不利用碳膜辅助的情况下将两片SiC衬底特定排布实现超大单晶畴半导体石墨烯的制备;还可以利用改造坩埚在一片SiC衬底上制备出超大单晶畴半导体石墨烯。可见,本发明能够实现在绝缘衬底上直接生长单层单晶半导体石墨烯,其具有超大晶畴和超高室温高迁移率,可作为电子学器件的关键材料使用。
本发明授权一种超大单晶畴半导体石墨烯及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种超大单晶畴半导体石墨烯,在碳化硅衬底的硅面直接生成,其特征在于,该半导体石墨烯具有石墨烯晶格结构,且与SiC衬底部分成键,具有带隙;所述半导体石墨烯为单层且均匀生长,所述半导体石墨烯的晶畴宽度大于200微米且小于等于500微米,长度为亚厘米量级,室温迁移率至少达到4500cm2V·s。
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