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龙图腾网恭喜珠海基石科技有限公司申请的专利蒸发输送装置、设备、控制方法和半导体器件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118800694B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411182022.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权蒸发输送装置、设备、控制方法和半导体器件是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本蒸发输送装置、设备、控制方法和半导体器件在说明书摘要公布了：一种蒸发输送装置、设备、控制方法和半导体器件，涉及设备技术领域，蒸发输送装置包括瓶身、瓶盖和防溅结构。瓶身具有槽腔；瓶盖扣在瓶身上并和槽腔的开口密封连接，瓶盖上设置有入流口和出流口；防溅结构位于槽腔内并设置在瓶盖的内壁上，防溅结构包括第一防溅部和第二防溅部。通过在蒸发输送装置中设置防溅结构，能够有效减少鼓泡破碎产生的颗粒物流入后端腔体的量；通过在设备中设置上述蒸发输送装置并使用设备控制方法，可以在不影响前驱体输送的前提下，有效减少进入设备反应腔的颗粒物量，保障了半导体的良好效果，获得性能更好的半导体器件。

本发明授权蒸发输送装置、设备、控制方法和半导体器件在权利要求书中公布了：1.一种蒸发输送装置，其特征在于，包括：瓶身，呈槽型结构，具有用于容纳前驱体液的槽腔；瓶盖，扣在所述瓶身上并和所述槽腔的开口密封连接，所述瓶盖密封所述槽腔，所述瓶盖上设置有入流口和出流口；防溅结构，位于所述槽腔内并设置在所述瓶盖的内壁上，所述防溅结构包括第一防溅部，所述第一防溅部将所述槽腔分隔为第一腔体和第二腔体，所述第一腔体位于所述第一防溅部和所述瓶盖之间，所述第二腔体位于所述第一防溅部背离所述瓶盖的一侧，所述第一腔体和所述第二腔体连通形成第一弯曲通道；所述防溅结构还包括第二防溅部，所述第二防溅部至少部分位于所述第一腔体内以将所述第一腔体分隔为第一子腔体和第二子腔体，所述第一子腔体和所述第二子腔体连通形成第二弯曲通道，所述第二腔体、所述第二子腔体、所述第一子腔体和所述出流口依次连通，所述第一防溅部包括第一连接部和第一防溅部主体，所述第一腔体位于所述第一防溅部主体和所述瓶盖之间，所述第一连接部连接在所述第一防溅部主体和所述瓶盖之间，所述第二防溅部包括第二连接部和第二防溅部主体，所述第二防溅部主体位于所述第一子腔体和所述第二子腔体之间，所述第二连接部连接在所述第二防溅部主体和所述瓶盖之间，所述第一防溅部还包括位于所述第一防溅部主体两侧的第一侧板，所述第一侧板分别与所述瓶盖、所述第一连接部和所述第一防溅部主体连接以围合形成槽型结构的所述第一腔体，所述第二防溅部还包括位于所述第二防溅部主体两侧的第二侧板，所述第二侧板分别与所述瓶盖、所述第二连接部和所述第二防溅部主体连接以围合形成槽型结构的所述第一子腔体。

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