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龙图腾网恭喜江苏凯威特斯半导体科技有限公司申请的专利一种上电极的清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119028795B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411357433.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种上电极的清洗方法是由桂传书;朱文健;李伟东;丁瑞华;陈开清;范彦丽;杜薛林;李家鹏;薛弘宇;严汪学设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种上电极的清洗方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种上电极的清洗方法，属于半导体制造技术领域，包括上电极激光清洗步骤：在第一功率下，利用激光束对上电极表面进行激光清洗；氧气等离子清洗：在第二功率下，通入含有氧气的第一混合气体，对表面残留污染物进行氧化生成无害气体；氮气等离子清洗步骤：在第三功率下，通入含有氮气的第二混合气体，去除部件表面残留惰性污染物；二氧化碳干冰工艺清洗步骤；纯水超声步骤，然后吹干；烘干冷却步骤：纯水超声步骤处理后进行烘干、冷却，得清洗后的上电极。本发明刻蚀腔上电极的非接触式清洗方法，通过非接触式清洗步骤和降低环境造成污染，同时降低对母材和环境和人体的潜在危害。

本发明授权一种上电极的清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种上电极的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：上电极激光清洗步骤：在第一功率下，利用激光束对上电极表面进行激光清洗；氧气等离子清洗：在第二功率下，通入含有氧气的第一混合气体，对表面残留污染物进行氧化反应；氮气等离子清洗步骤：在第三功率下，通入含有氮气的第二混合气体，用于去除上电极表面残留惰性污染物；二氧化碳干冰工艺清洗步骤：将所述上电极在第四功率下，进行二氧化碳干冰工艺清洗；纯水超声步骤：二氧化碳干冰工艺清洗后进行纯水超声处理，然后吹干；烘干冷却步骤：纯水超声步骤处理后进行烘干、冷却，得清洗后的上电极；所述上电极激光清洗步骤中，所述第一功率为300W-600W，激光频率为40Hz-70Hz，激光脉宽为300ns-700ns，激光扫描频率为20Hz-100Hz；所述上电极的清洗方法的清洗步骤顺序依次为上电极激光清洗步骤、氧气等离子清洗、氮气等离子清洗步骤、二氧化碳干冰工艺清洗步骤、纯水超声步骤和烘干冷却步骤。

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