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龙图腾网恭喜无锡沃尼克半导体科技有限公司申请的专利一种半导体用石英轴抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118952021B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411459835.3，技术领域涉及：B24B29/04；该发明授权一种半导体用石英轴抛光装置是由邓南翔;华锦贤;郁佳琦设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体用石英轴抛光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及抛光设备技术领域，公开了一种半导体用石英轴抛光装置，包括支撑夹持单元、旋转抛光单元和擦拭单元。本发明，驱动电机可以带动支撑夹持单元内部夹持的石英轴旋转，并且驱动电机通过皮带带动丝杆轴旋转，进而带动抛光电机带动抛光盘在石英轴上移动，由于石英轴是旋转的，而抛光盘是水平移动，故而抛光盘可以对石英轴整体进行抛光，不需要单独移动抛光位置，进而使得整个抛光效率提高，其中擦拭单元内部的吸水海绵擦可以跟随旋转抛光单元进行移动，且移动的时候，吸水海绵擦可以对所抛光完毕的石英轴进行擦拭，使得表面残留的抛光液被吸水海绵擦所吸附，使得抛光完毕后，保证石英轴的洁净性，适合广泛推广和使用。

本发明授权一种半导体用石英轴抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体用石英轴抛光装置，包括支撑夹持单元、旋转抛光单元和擦拭单元，其特征在于：所述支撑夹持单元包括操作台，所述操作台一侧安装有第一固定座，所述操作台另一侧安装有第二固定座，所述第一固定座安装有三爪卡盘，且三爪卡盘上夹持设置有石英轴；所述旋转抛光单元包括驱动电机，所述驱动电机输出轴末端和三爪卡盘转动中心连接，且驱动电机输出轴上安装有驱动带轮，所述驱动带轮上套接设置有皮带，所述皮带另一侧套接设置有从动带轮，所述从动带轮转动中心安装有丝杆轴，所述丝杆轴上套接设置有丝杆套环，所述丝杆套环底部安装有电动推杆，所述电动推杆上安装有抛光电机，所述抛光电机输出端安装有抛光盘，所述抛光盘外侧包裹设置有安装罩，且安装罩上安装有喷头，且喷头与石英轴竖直对应；所述擦拭单元包括吸水海绵擦，所述吸水海绵擦底座安装有挤压板，所述挤压板底部安装有插杆，所述插杆末端安装有压杆，所述压杆底部滑动设置有定位轨道，且定位轨道上安装有若干对凸起，所述插杆上套接设置有定位套，所述定位套侧壁安装有L形支架，且L形支架和丝杆套环相互连接，所述丝杆套环两侧安装有限位板，所述限位板末端安装有限位套，所述限位套内部活动插接设置有限位杆，所述限位板侧壁安装有同步支架，所述同步支架与L形支架相互连接。

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