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龙图腾网恭喜云际芯光(珠海)微电子有限公司;天津大学申请的专利一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119018847B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411467855.5，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法是由崔魏巍;王冕;张浩设计研发完成，并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，包括：选用石英片，对石英片依次进行酸洗、碱洗和DI水冲洗，得到处理后的石英片；进行镀膜，形成膜层；形成带有加速度计结构图案的金属硬掩模的石英片；放入第一种有机刻蚀溶液进行湿法刻蚀；对石英片上的侧壁进行消棱；石英片的铰链厚度方向的下表面形成金属硬掩模和悬臂梁厚度方向的上表面形成金属硬掩模，然后将石英片放入第二种有机刻蚀溶液进行刻蚀，以得到悬臂梁和铰链；去除石英片的表面膜层；对石英加速度计的悬臂梁的表面进行制作电极，得到最终的石英加速度计。本发明使得石英加速度计的灵敏度提高约4倍，并保证了其机械稳定性，以及还大幅增加机电耦合系数。

本发明授权一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：选用石英片，对石英片依次进行酸洗、碱洗和DI水冲洗，得到处理后的石英片；步骤2：在处理后的石英片的厚度方向的上下表面进行镀膜，形成预设厚度的膜层；步骤3：形成带有加速度计结构图案的金属硬掩模的石英片，所述形成带有加速度计结构图案的金属硬掩模的石英片，其具体实现过程，包括以下步骤：在镀膜后的石英片的厚度方向的上下表面旋涂预设厚度的正性光刻胶，预设厚度可为2-5μm，然后，旋涂光刻胶后的石英片依次经曝光机双面对准曝光、在温度为100℃的热板上进行前烘、显影、温度为107℃的热板上进行后烘，并将显影处理后无光刻胶所在的镀膜采用刻蚀液进行刻蚀掉，刻蚀液选用金、铬刻蚀液，以刻蚀掉相应位置上的金膜层和铬膜层，从而在石英片厚度方向的上下表面形成带有加速度计图案的金属硬掩模，然后，将金属硬掩模上的加速度计图案转移到已固化的光刻胶上，得到带有加速度计结构图案的石英片，在刻蚀过程中，采用晶舟装载石英片并静止放置在22℃的金刻蚀液和铬刻蚀液中，以对未被光刻胶覆盖区域的镀膜进行去除，并且根据刻蚀液浓度大小设置间隔时间，每隔该间隔时间，上下拉动石英片，刻蚀后，将晾干后的石英片放入N-甲基吡咯烷酮溶液浸泡并维持第一预设时长，然后再放入IPA溶液浸泡并维持第二预设时长，以去掉表面固化正性光刻胶，然后，再将石英片放入流动的DI水中进行清洗，将去除正性光刻胶后的石英片放入第一刻蚀液进行刻蚀，第一刻蚀液选用40%浓度的HF、45%浓度的NH4F的混合溶液，按质量比，两者的溶液配比为3:2，在30℃恒温下刻蚀40h，然后取出并依次经DI水清洗、烘干，得到的包含初步加速度计结构的石英片，然后，对石英片进行二次光刻：在80℃的封闭腔室内对石英片的表面进行喷涂光刻胶，形成的光刻胶的厚度为5μm，喷涂光刻胶后，将石英片放入温度为110℃的热板上进行热烘，并持续90s，热烘完后，采用曝光机对石英片进行双面曝光，曝光后，将石英片静置在显影液中进行显影处理，然后将掩膜版上的图案转移到已固化的光刻胶的表面；步骤4：将带有所述金属硬掩模的石英片放入第一种有机刻蚀溶液进行湿法刻蚀，得到包含初步加速度计结构的石英片；步骤5：对包含初步加速度计结构的石英片上的侧壁进行消棱；步骤6：石英片的铰链厚度方向的下表面形成金属硬掩模和悬臂梁厚度方向的上表面形成金属硬掩模，然后将石英片放入第二种有机刻蚀溶液进行刻蚀，以得到悬臂梁和铰链；步骤7：去除石英片的表面膜层；步骤8，对石英加速度计的悬臂梁的表面进行制作电极，得到最终的石英加速度计。

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