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龙图腾网恭喜上海图双精密装备有限公司申请的专利一种背面套刻精度验证及套刻误差补偿方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119148478B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411506427.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种背面套刻精度验证及套刻误差补偿方法及系统是由王金凤;张光彩设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种背面套刻精度验证及套刻误差补偿方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻机领域，公开了一种背面套刻精度验证及套刻误差补偿方法，包括以下步骤：在透明片正面制作第一套刻标记和在第一套刻标记周围的第一刻度；采用背面显微镜抓图保存掩模板对准标记，所述掩模板对准标记由第二套刻标记和在第二套刻标记周围的第二刻度；用背面显微镜对准透明片正面的第一刻度和第二刻度，对准后曝光显影出新制作标记；通过光学显微镜读取新制作标记上的第一刻度和第二刻度，通过第一刻度和第二刻度的对齐程度得到套刻精度。

本发明授权一种背面套刻精度验证及套刻误差补偿方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种背面套刻精度验证及套刻误差补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：在透明片正面制作第一套刻标记和在第一套刻标记周围的第一刻度；采用背面显微镜抓图保存掩模板对准标记，所述掩模板对准标记由第二套刻标记和在第二套刻标记周围的第二刻度；用背面显微镜对准透明片正面的第一刻度和第二刻度，对准后曝光显影出新制作标记；通过光学显微镜读取新制作标记上的第一刻度和第二刻度，通过第一刻度和第二刻度的对齐程度得到套刻精度；所述新制作标记上的刻度采用智能识别方法：按照从左至右，从上到下的顺序，识别纵向排列的4组刻度，并获取刻度尖头中点的坐标，并按照顺序排列，得到第一、第二、第三、第四横坐标集；计算任意两组横坐标集中坐标的纵坐标的差值；将差值最小的刻度作为横向套刻误差值；按照从上到下，从左至右的顺序，识别横向排列的4组刻度，并获取刻度尖头中点的坐标，并按照顺序排列，得到第一、第二、第三、第四纵坐标集；计算任意两组纵坐标集中坐标的横坐标的差值；将差值最小的刻度作为纵向套刻误差值；所述智能识别方法还包括校正步骤：分别计算第一与第二横坐标集、第三与第四横坐标集、第一与第二纵坐标集、第三与第四纵坐标集中首尾坐标形成的四边形内的白色像素比例，得到第一横比例、第二横比例、第一纵比例、第二纵比例；根据第一横比例、第二横比例对纵向套刻误差值进行校正；根据第一纵比例、第二纵比例对横向套刻误差值进行校正。

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