恭喜浙江奥首材料科技有限公司侯军获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜浙江奥首材料科技有限公司申请的专利一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119039992B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411526791.1，技术领域涉及：C09K13/08；该发明授权一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用是由侯军;武文东;赵晓莹;杨茂森;任洁;田继升设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用，所述用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液包括重量配比如下的各组分：氟化试剂0.5‑3份；硝酸20‑70份；醋酸30‑50份；渗透润湿剂1‑5份；反应扩散剂1‑10份。所述氟化试剂为亲核氟化试剂，所述渗透润湿剂为Gemini表面活性剂，所述反应扩散剂为碳链修饰的亚硝基连二硫酸。本发明用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液能有效去除TSV工艺中Si孔侧壁损伤层。本发明蚀刻液通过分段蚀刻芯片，能提高液体置换率，加快传质，促进孔内均一蚀刻，形成孔内均一形貌。
本发明授权一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液，其特征在于，包括重量配比如下的各组分：氟化试剂0.5-3份；硝酸20-70份；醋酸30-50份；渗透润湿剂1-5份；反应扩散剂1-10份；所述反应扩散剂为碳链修饰的亚硝基连二硫酸；所述碳链修饰的亚硝基连二硫酸的制备方法，包括以下步骤：将烷基硫酸盐、亚硝基硫酸和二氧化锰加入到醇水溶液中，在70-80℃条件下搅拌，反应一定时间后冷却至20-25℃；向溶液中加入氢氧化钡处理未反应的硫酸根，以沉淀副产的硫酸根，加入稀硫酸处理过剩钡离子，过滤后的溶液经烘干得到碳链修饰的亚硝基连二硫酸；所述烷基硫酸盐的烷基碳链长为8-12；所述渗透润湿剂为Gemini表面活性剂；所述氟化试剂为HF、二乙胺基三氟化硫（DAST）、NaF、KF中的一种或多种。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江奥首材料科技有限公司，其通讯地址为：324012 浙江省衢州市柯城区杜鹃路36号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号