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龙图腾网恭喜广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院;卓劼(北京)激光科技有限公司申请的专利一种准分子激光器及其线宽压窄模块获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119275687B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411785012.X，技术领域涉及：H01S3/00；该发明授权一种准分子激光器及其线宽压窄模块是由祝桂鹏;杨军红;孙涛设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种准分子激光器及其线宽压窄模块在说明书摘要公布了：本发明涉及激光线宽调节技术领域，公开了一种准分子激光器及其线宽压窄模块，其中线宽压窄模块包括：壳体，壳体内部形成有容纳腔，壳体上开设有通光孔用以光线进入容纳腔；棱镜，棱镜设置于容纳腔且正对于通光孔设置；光栅，光栅也设置于容纳腔中，通光孔、棱镜和光栅在光线的入射方向上依次设置；吹扫机构，吹扫机构包括设置于棱镜和光栅的一侧的多个气体匀流装置，气体匀流装置朝向棱镜和光栅进行吹扫。可有效的隔绝水分子等导致光学元器件劣化因素，延长光学元器件寿命；通过对流散热将大量热量带走，使其通光面散热更好，更加不容易出现热失稳的现象，更容易保证准分子激光波长筛选的稳定性。

本发明授权一种准分子激光器及其线宽压窄模块在权利要求书中公布了：1.一种线宽压窄模块，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内部形成有容纳腔，所述壳体上开设有通光孔用以光线进入所述容纳腔；棱镜，所述棱镜设置于所述容纳腔且正对于所述通光孔设置；光栅，所述光栅也设置于所述容纳腔中，所述通光孔、所述棱镜和所述光栅在光线的入射方向上依次设置；吹扫机构，所述吹扫机构包括设置于所述棱镜和光栅的一侧的多个气体匀流装置，所述气体匀流装置朝向所述棱镜和所述光栅进行吹扫，所述棱镜和所述光栅背向所述吹扫机构的另一侧设置有导流风道，所述导流风道包括对应多个所述气体匀流装置开设的导流孔，多个所述导流孔还连接有导流风道，所述导流孔靠近所述光栅或棱镜的一侧端面与所述光栅或所述棱镜的通光面相错设置；其中，所述气体匀流装置内部开设有气体流道，所述气体流道的两端包括进气口和出气口，所述出气口朝向所述光栅和所述棱镜设置；所述气体流道包括连接所述进气口的第一腔室，所述第一腔室连接第二腔室，所述第一腔室和所述第二腔室之间设置有多个减速小孔；所述第二腔室包括相互连接的减速腔室和长条腔室，所述减速腔室连接所述减速小孔，所述长条腔室连接所述出气口，所述长条腔室内设置有多个平行排列的导流板。

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