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龙图腾网恭喜江苏甫瑞微纳传感科技有限公司申请的专利复合结构的微加热板及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109587846B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811622329.6，技术领域涉及：H05B3/28；该发明授权复合结构的微加热板及其制作方法是由刘瑞设计研发完成，并于2018-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本复合结构的微加热板及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种复合结构的微加热板及其制作方法。所述的制作方法包括：于一第一衬底的第二表面加工形成空腔结构；于一第二衬底表面依次生长形成隔热层和第一绝缘层；将所述第一绝缘层与所述第一衬底的第一表面键合，所述第一表面与第二表面相背对，之后去除所述第二衬底；在所述隔热层上依次形成加热层、第二绝缘层和测试层。其中第一、第二衬底可以分别采用石英衬底、单晶硅衬底。本发明提供的复合结构的微加热板的结构简单、牢固，可靠性高，稳定性好，尤其是具有高效率的加热性能，同时其制备工艺简单易于操作，可以利用MEMS工艺快速实施，适于规模化生产。

本发明授权复合结构的微加热板及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种复合结构的微加热板的制作方法，其特征在于，包括：采用三维热压成型工艺在一石英衬底的第二表面加工形成空腔结构；于一单晶硅衬底表面依次生长形成隔热层和第一绝缘层；采用阳极键合工艺将所述第一绝缘层与所述石英衬底的第一表面键合，所述第一表面与第二表面相背对，之后采用减薄工艺去除所述单晶硅衬底，从而使所述隔热层露出，然后刻蚀所述石英衬底，使所述空腔结构沿轴向贯穿所述石英衬底；在所述隔热层上依次形成加热层、第二绝缘层和测试层；所述隔热层、第一绝缘层、第二绝缘层是采用CVD方法生长形成。

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