恭喜恩智浦美国有限公司T·尤林获国家专利权
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龙图腾网恭喜恩智浦美国有限公司申请的专利具有嵌入迹线的基板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110797266B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910711120.5,技术领域涉及:H01L21/48;该发明授权具有嵌入迹线的基板是由T·尤林;奇·森格·富恩格设计研发完成,并于2019-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有嵌入迹线的基板在说明书摘要公布了:本公开涉及具有嵌入迹线的基板。本文中提供一种具有一或多个嵌入迹线的基板和一种用于制造一或多个嵌入迹线的方法的实施例。所述方法包括:在基板的第一主表面上形成凸块,所述凸块具有从所述第一主表面到所述凸块的顶部表面测量的高度;形成迹线,所述迹线包括与所述第一主表面直接接触的下部迹线部分、与所述凸块的至少一个侧壁直接接触的侧壁迹线部分和与所述凸块的所述顶部表面直接接触的上部迹线部分;在所述迹线上方沉积毯状介电层;和蚀刻掉所述毯状介电层的顶部部分以暴露所述上部迹线部分的顶部表面。
本发明授权具有嵌入迹线的基板在权利要求书中公布了:1.一种用于制造一或多个嵌入迹线的方法,其特征在于,所述方法包括:在基板的第一主表面上形成凸块,所述凸块具有从所述第一主表面到所述凸块的顶部表面测量的高度;形成迹线,所述迹线包括:与所述第一主表面直接接触的下部迹线部分,与所述凸块的至少一个侧壁直接接触的侧壁迹线部分,和与所述凸块的所述顶部表面直接接触的上部迹线部分;在所述迹线上方沉积毯状介电层;和蚀刻掉所述毯状介电层的顶部部分以暴露所述上部迹线部分的顶部表面。
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